Aixtron MOCVD рецепторы

Суцепторлар шығарғанVetek жартылай өткізгішграфит субстратынан және кремний карбидінен (SiC) жабын материалынан жасалған. SiC материалының жоғары тозуға төзімділігін, коррозияға төзімділігін және өте жоғары қаттылығын ескере отырып, ол қатал технологиялық орталарда пайдалану үшін әсіресе қолайлы. Сондықтан Vetek Semiconductor компаниясы шығарған Сусцепторларды қосымша бет өңдеусіз жоғары температуралы MOCVD процестерінде тікелей қолдануға болады.

Сусцепторлар жартылай өткізгіштер өндірісіндегі, әсіресе жұқа қабықшаны тұндыру процестеріне арналған MOCVD жабдығында негізгі компоненттер болып табылады. басты рөліAixtron SiC қабылдағышMOCVD процесінде жартылай өткізгіш пластиналарды тасымалдау, біркелкі жылуды бөлу және реакциялық ортаны қамтамасыз ету арқылы жұқа қабықшалардың біркелкі және жоғары сапалы тұндыруын қамтамасыз ету, осылайша жоғары сапалы жұқа пленка өндірісіне қол жеткізу.

Aixtron MOCVD рецепторыәдетте тұндыру процесінде пластинаның тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жартылай өткізгіш пластиналар негізін қолдау және бекіту үшін қолданылады. Сонымен қатар, Aixtron MOCVD Susceptor бетінің жабыны жоғары жылу өткізгіш материал болып табылатын кремний карбидінен (SiC) жасалған. SiC жабыны пластинаның бетінде біркелкі температураны қамтамасыз етеді және біркелкі қыздыру жоғары сапалы пленкаларды алу үшін өте маңызды.

Оның үстіне,Aixtron MOCVD рецепторыбіз шығаратын өнімдер материалдардың оңтайландырылған дизайны арқылы реактивті газдардың ағыны мен таралуын бақылауда үлкен рөл атқарады. Біркелкі пленка тұндыру үшін құйынды ағындар мен температура градиенттерінен аулақ болыңыз.

Ең бастысы, MOCVD процесінде кремний карбиді (SiC) жабын материалы коррозияға төзімділікке ие, сондықтанVetek жартылай өткізгішныңAixtron MOCVD рецепторыжоғары температура мен коррозиялық газдарға да төтеп бере алады.

Негізгі физикалық қасиеттеріSIC жабыны:

VeTek жартылай өткізгіш вафли қайық дүкендері:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: