Электрондық сәулемен булану - бұл булану материалын электронды сәулемен қыздыратын, оның булануына және жұқа қабықшаға айналуына әкелетін қарсылық қыздырумен салыстырғанда өте тиімді және кеңінен қолданылатын жабу әдісі.
Ары қарай оқуВакуумдық жабынға пленка материалының булануы, вакуумды тасымалдау және жұқа қабықтың өсуі кіреді. Әртүрлі пленкалық материалды булану әдістеріне және тасымалдау процестеріне сәйкес вакуумдық жабынды екі санатқа бөлуге болады: PVD және CVD.
Ары қарай оқуCVD, ALD немесе PVD арқылы қалыңдығы 1 микроннан аз пленкаларды қою арқылы микро құрылғыларды жасау арқылы жұқа қабықшаны тұндыру чип өндірісінде өте маңызды. Бұл процестер ауыспалы өткізгіш және оқшаулағыш пленкалар арқылы жартылай өткізгіш компоненттерді құрастырады.
Ары қарай оқуЖартылай өткізгішті өндіру процесі сегіз қадамды қамтиды: вафельді өңдеу, тотығу, литография, ою, жұқа пленка тұндыру, өзара байланыс, сынау және орау. Құмнан алынған кремний пластинкаларға өңделеді, тотықтырылады, өрнектеледі және жоғары дәлдіктегі схемалар үшін оюланады.
Ары қарай оқу