Тантал карбиді жабыны дегеніміз не?

Тантал карбиді (TaC) керамикалық материалдың балқу температурасы 3880 ℃ дейін жетеді және балқу температурасы жоғары және химиялық тұрақтылығы жақсы қосылыс болып табылады. Ол жоғары температуралы ортада тұрақты өнімділікті сақтай алады. Сонымен қатар, ол сондай-ақ жоғары температураға, химиялық коррозияға төзімділікке және көміртекті материалдармен жақсы химиялық және механикалық үйлесімділікке ие, бұл оны тамаша графиттік субстратты қорғайтын жабын материалына айналдырады. 

Тантал карбиді жабыны қатал пайдалану жағдайында графит компоненттерін ыстық аммиак, сутегі, кремний буы және балқытылған металдың әсерінен тиімді қорғай алады, графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады және графиттегі қоспалардың миграциясын басады, сапасын қамтамасыз етеді.эпитаксиалдыжәнекристалдық өсу.

Сурет 1. Жалпы тантал карбидімен қапталған компоненттер

Химиялық буларды тұндыру (CVD) графит беттерінде TaC жабындарын өндірудің ең жетілген және оңтайлы әдісі болып табылады.

Көміртек және тантал көздері ретінде TaCl5 және пропиленді, ал тасымалдаушы газ ретінде аргонды пайдалана отырып, реакция камерасына жоғары температурадағы буланған TaCl5 буы енгізіледі. Мақсатты температура мен қысымда прекурсорлық материалдың буы графит бетіне адсорбцияланады, көміртегі мен тантал көздерінің ыдырауы және комбинациясы сияқты бірқатар күрделі химиялық реакцияларға, сондай-ақ диффузия және десорбция сияқты беттік реакциялар сериясына ұшырайды. прекурсордың қосалқы өнімдері. Ақырында, графиттің бетінде тығыз қорғаныс қабаты қалыптасады, ол графитті төтенше экологиялық жағдайларда тұрақты өмір сүруден қорғайды және графит материалдарының қолдану сценарийлерін айтарлықтай кеңейтеді.

2-сурет.Химиялық буларды тұндыру (CVD) процесінің принципі

ВТek жартылай өткізгішнегізінен тантал карбидінің өнімдерін ұсынады: TaC бағыттаушы сақина, TaC жабыны бар үш жапырақты сақина, TaC жабу тигель, TaC жабындысы кеуекті графит SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады; TaC жабыны бар кеуекті графит, TaC қапталған бағыттаушы сақина, TaC қапталған графит пластинасы, TaC жабындары, планеталық сенсорлар, TaC қапталған спутниктік сенсорлар және бұл тантал карбиді жабын өнімдері кеңінен қолданылады.SiC эпитаксия процесіжәнеSiC монокристалды өсу процесі.

3-сурет.ВТek Жартылай өткізгіштердің ең танымал тантал карбиді жабыны өнімдері