Кеуекті SiC вакуумдық патрон

Қытайдағы кәсіби кеуекті SiC вакуумдық патрон өндірушісі және жеткізушісі ретінде Vetek Semiconductor компаниясының кеуекті SiC вакуумдық патроны жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының негізгі компоненттерінде, әсіресе CVD және PECVD процестеріне қатысты кеңінен қолданылады. Vetek Semiconductor компаниясы өнімділігі жоғары кеуекті SiC вакуумдық патронды өндіруге және жеткізуге маманданған. Қосымша сұрауларыңызға қош келдіңіз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Vetek жартылай өткізгіш кеуекті SiC вакуумдық патроны негізінен кремний карбидінен (SiC) тұрады, тамаша өнімділігі бар керамикалық материал. Кеуекті SiC вакуумдық патрон жартылай өткізгішті өңдеу процесінде пластинаны қолдау және бекіту рөлін атқара алады. Бұл өнім біркелкі соруды қамтамасыз ете отырып, пластинаның деформациясын және деформациясын тиімді болдырмай, осылайша өңдеу кезінде ағынның тегістігін қамтамасыз ете отырып, вафли мен патрон арасындағы тығыз сәйкестікті қамтамасыз ете алады. Сонымен қатар, кремний карбидінің жоғары температураға төзімділігі патронның тұрақтылығын қамтамасыз ете алады және термиялық кеңею салдарынан пластинаның құлап кетуіне жол бермейді. Қосымша кеңес алуға қош келдіңіз.

Электроника саласында Porous SiC вакуумдық патронды лазерлік кесу, қуат құрылғыларын, фотоэлектрлік модульдерді және электр энергиясының компоненттерін жасау үшін жартылай өткізгіш материал ретінде пайдалануға болады. Оның жоғары жылу өткізгіштігі және жоғары температураға төзімділігі оны электронды құрылғылар үшін тамаша материал етеді. Оптоэлектроника саласында Porous SiC вакуумдық патрон лазерлер, жарықдиодты қаптама материалдары және күн батареялары сияқты оптоэлектронды құрылғыларды өндіру үшін пайдаланылуы мүмкін. Оның тамаша оптикалық қасиеттері мен коррозияға төзімділігі құрылғының өнімділігі мен тұрақтылығын жақсартуға көмектеседі.

Vetek Semiconductor қамтамасыз ете алады:

1. Тазалық: SiC тасымалдаушысын өңдеуден, гравюрадан, тазалаудан және түпкілікті жеткізуден кейін, барлық қоспаларды жағу үшін оны 1,5 сағат бойы 1200 градуста шыңдап, содан кейін вакуумдық пакеттерге салу керек.

2. Өнімнің тегістігі: Вафлиді орналастырмас бұрын, жылдам беру кезінде тасымалдаушының ұшып кетуіне жол бермеу үшін жабдыққа қойылған кезде ол -60кпа-дан жоғары болуы керек. Вафлиді қойғаннан кейін ол -70кпа-дан жоғары болуы керек. Жүктемедегі температура -50kpa төмен болса, құрылғы ескертуді жалғастырады және жұмыс істей алмайды. Сондықтан арқаның тегістігі өте маңызды.

3. Газ жолының дизайны: тұтынушы талаптарына сәйкес теңшелген.

Тұтынушыны тестілеудің 3 кезеңі:

1. Тотығу сынағы: оттегі жоқ (тұтынушы 900 градусқа дейін тез қызады, сондықтан өнімді 1100 градуста күйдіру керек).

2. Металл қалдықтарын сынау: 1200 градусқа дейін жылдам қыздырыңыз, пластинаны ластайтын металл қоспалары шығарылмайды.

3. Вакуумдық сынау: Вафли бар және онсыз қысым арасындағы айырмашылық +2ка шегінде (сору күші).