Жылдам термиялық күйдіргіш сенсор

VeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші жылдам термиялық күйдіргіш сепкіш өндіруші және инноватор. Біз көптеген жылдар бойы SiC жабын материалына маманданғанбыз. Біз жоғары сапалы, жоғары температураға төзімді, өте жұқа Жылдам термиялық күйдіргіш қабылдағышты ұсынамыз. Қытайдағы зауыт.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek жартылай өткізгішті жылдам термиялық күйдіргіш қабылдағыш жоғары сапалы және ұзақ қызмет етеді, бізге сұрауға қош келдіңіз.

Жылдам термиялық өңдеу (RTA) жартылай өткізгіш құрылғыларды жасауда қолданылатын Жылдам термиялық өңдеудің маңызды жиыны болып табылады. Ол әртүрлі мақсатты термиялық өңдеулер арқылы олардың электрлік қасиеттерін өзгерту үшін жеке пластиналарды қыздыруды қамтиды. RTA процесі қоспаларды белсендіруге, пленкадан пленкаға немесе пленкадан пластинкаға субстрат интерфейстерін өзгертуге, тұндырылған пленкаларды тығыздауға, өсірілген пленка күйлерін өзгертуге, ион имплантациясының зақымдалуын жөндеуге, қоспаның қозғалысына және пленкалар арасында қоспаларды жылжытуға мүмкіндік береді. немесе вафли субстратына.

VeTek Semiconductor өнімі, Жылдам термиялық күйдіргіш қабылдағыш, RTP процесінде маңызды рөл атқарады. Ол инертті кремний карбидінің (SiC) қорғаныш жабыны бар жоғары таза графит материалы арқылы жасалған. SiC жабыны бар кремний субстраты 1100°C дейінгі температураға төтеп бере алады, тіпті төтенше жағдайларда да сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді. SiC жабыны өнімнің ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз ете отырып, газдың ағуынан және бөлшектердің төгілуінен тамаша қорғанысты қамтамасыз етеді.

Температураны дәл бақылау үшін чип SiC қапталған екі жоғары таза графит құрамдастары арасында инкапсуляцияланады. Температураның дәл өлшемдерін біріктірілген жоғары температура сенсорлары немесе субстратпен жанасатын термопаралар арқылы алуға болады.

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік	Типтік мән
Кристалл құрылымы	FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
Тығыздығы	3,21 г/см³
Қаттылық	2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі	2~10мкм
Химиялық тазалық	99,99995%
Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг-1·К-1
Сублимация температурасы	2700℃
Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік	300Вт·м-1·К-1
Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10-6К-1