SiC қаптамасының вафли тасымалдаушысы

Vetek Semiconductor компаниясы өнімділігі жоғары SiC қаптамасының пластинкаларын өндіруге және жеткізуге маманданған және жартылай өткізгіш өнеркәсібіне озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады.

Жартылай өткізгішті өндіруде Vetek Semiconductor компаниясының SiC жабынды пластинасы химиялық бу тұндыру (CVD) жабдығында, әсіресе металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) жабдықтарында негізгі компонент болып табылады. Оның негізгі міндеті - эпитаксиалды қабат біркелкі өсуі үшін монокристалды субстратты қолдау және қыздыру. Бұл жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін өте қажет.

SiC жабынының коррозияға төзімділігі өте жақсы, ол графит негізін коррозиялық газдардан тиімді қорғай алады. Бұл әсіресе жоғары температура мен коррозиялық ортада маңызды. Сонымен қатар, SiC материалының жылу өткізгіштігі де өте тамаша, ол жылуды біркелкі өткізе алады және температураның біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, осылайша эпитаксиалды материалдардың өсу сапасын жақсартады.

SiC жабыны жоғары температурада және коррозиялық атмосферада химиялық тұрақтылықты сақтайды, жабынның бұзылуын болдырмайды. Ең бастысы, SiC жылу кеңею коэффициенті графитке ұқсас, ол термиялық кеңею мен жиырылуына байланысты жабынның төгілу мәселесін болдырмайды және жабынның ұзақ мерзімді тұрақтылығы мен сенімділігін қамтамасыз етеді.

Негізгі физикалық қасиеттеріSiC қаптамасының вафли тасымалдаушысы:

Өндірістік цех:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: