Кремний карбиді эпитаксиді вафельді тасымалдаушы

VeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші теңшелген кремний карбиді эпитаксистік вафли тасымалдаушы жеткізушісі. Біз 20 жылдан астам жетілдірілген материалда маманданғанбыз. Біз SiC эпитаксиалды реакторында SiC эпитаксистік қабатын өсіретін SiC субстратын тасымалдауға арналған кремний карбиді эпитаксистік пластинаны ұсынамыз. Бұл кремний карбиді эпитаксиді вафельді тасымалдаушы жарты ай бөлігінің маңызды SiC қапталған бөлігі, жоғары температураға төзімділік, тотығуға төзімділік, тозуға төзімділік. Біз сізді Қытайдағы зауытымызға келуге шақырамыз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жоғары сапалы кремний карбиді эпитаксиді вафельді тасымалдаушыны ұсынғымыз келеді.

VeTek жартылай өткізгіш кремний карбидті эпитаксистік вафельді тасымалдаушылар SiC эпитаксиалды камерасы үшін арнайы әзірленген. Олардың қолдану аясы кең және әртүрлі жабдық үлгілерімен үйлесімді.

Қолдану сценарийі:

VeTek жартылай өткізгіш кремний карбидті эпитаксистік пластиналар тасымалдаушылары негізінен SiC эпитаксиалды қабаттарының өсу процесінде қолданылады. Бұл аксессуарлар SiC эпитаксистік реакторының ішіне орналастырылады, онда олар SiC субстраттарымен тікелей жанасады. Эпитаксиалды қабаттар үшін маңызды параметрлер қалыңдығы мен легирлеу концентрациясының біркелкілігі болып табылады. Сондықтан біз аксессуарларымыздың өнімділігі мен үйлесімділігін пленка қалыңдығы, тасымалдаушы концентрациясы, біркелкілігі және бетінің кедір-бұдырлығы сияқты деректерді бақылау арқылы бағалаймыз.

Қолданылуы:

Жабдық пен процеске байланысты біздің өнімдер 6 дюймдік жарты ай конфигурациясында кем дегенде 5000 мм эпитаксиалды қабат қалыңдығына қол жеткізе алады. Бұл мән сілтеме ретінде қызмет етеді және нақты нәтижелер әртүрлі болуы мүмкін.

Үйлесімді жабдық үлгілері:

VeTek Semiconductor кремний карбидімен қапталған графит бөліктері әртүрлі жабдық үлгілерімен, соның ішінде LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH және т.б. үйлесімді.

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік	Типтік мән
Кристалл құрылымы	FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
Тығыздығы	3,21 г/см³
Қаттылық	2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі	2~10мкм
Химиялық тазалық	99,99995%
Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг-1·К-1
Сублимация температурасы	2700℃
Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік	300Вт·м-1·К-1
Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10-6К-1

VeTek жартылай өткізгіштер өндірісі цехы

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік тізбегіне шолу:

Hot Tags: Кремний карбиді эпитаксиді вафельді тасымалдаушы, Қытай, өндіруші, жеткізуші, зауыт, теңшелген, сатып алу, жетілдірілген, берік, Қытайда жасалған