Қытай Қатты кремний карбиді Өндіруші, жеткізуші, зауыт

VeTek жартылай өткізгіш қатты кремний карбиді – плазмалық ою жабдығындағы маңызды керамикалық компонент, қатты кремний карбиді(CVD кремний карбиді) ою жабдығындағы бөлшектер жатадыфокустау сақиналары, газ душ бастиегі, науа, жиек сақиналары және т.б. Қатты кремний карбидінің (CVD кремний карбиді) хлор және құрамында фтор бар қышқыл газдарға реакциясы мен өткізгіштігі төмен болғандықтан, бұл сақиналар мен басқаларды фокустау үшін плазмалық ою жабдығы үшін тамаша материал болып табылады. құрамдас бөліктер.

Мысалы, фокус сақинасы сақина арқылы өтетін плазманы фокустау үшін сақинаға кернеу беру арқылы пластинаның сыртында орналасқан және пластинкамен тікелей байланыста болатын маңызды бөлік болып табылады, осылайша плазманың біркелкілігін жақсарту үшін вафлиге фокусталады. өңдеу. Дәстүрлі фокус сақинасы кремнийден немесекварц, жалпы фокус сақина материал ретінде өткізгіш кремний, ол дерлік кремний пластиналар өткізгіштігінің жақын, бірақ тапшылығы фтор бар плазмада нашар қышқыл төзімділігі болып табылады, жиі уақыт кезеңі үшін пайдаланылатын машина бөліктерін материалдарын ою, елеулі болады. коррозия құбылысы, оның өндірістік тиімділігін айтарлықтай төмендетеді.

Sескі SiC фокус сақинасыЖұмыс принципі：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Және негізіндегі фокустау сақинасы мен CVD SiC фокустау сақинасын салыстыру:

Және негізіндегі фокустау сақинасы мен CVD SiC фокустау сақинасын салыстыру
Элемент	Және	CVD SiC
Тығыздығы (г/см³)	2.33	3.21
Жолақ аралығы (эВ)	1.12	2.3
Жылу өткізгіштік (Вт/см℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Серпімділік модулі (GPa)	150	440
Қаттылық (GPa)	11.4	24.5
Тозуға және коррозияға төзімділік	Кедей	Өте жақсы

VeTek Semiconductor жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған SiC фокустау сақиналары сияқты жетілдірілген қатты кремний карбиді (CVD кремний карбиді) бөлшектерін ұсынады. Біздің қатты кремний карбиді фокустау сақиналары дәстүрлі кремнийден механикалық беріктік, химиялық төзімділік, жылу өткізгіштік, жоғары температураға төзімділік және иондарды өңдеуге төзімділік бойынша асып түседі.

Біздің SiC фокустау сақиналарының негізгі ерекшеліктеріне жатады:

Төмендеу жылдамдығы үшін жоғары тығыздық.

Жоғары жолақпен тамаша оқшаулау.

Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті.

Жоғары механикалық әсерге төзімділік пен серпімділік.

Жоғары қаттылық, тозуға төзімділік және коррозияға төзімділік.

Қолдану арқылы өндірілгенплазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD)техникасы, біздің SiC фокустау сақиналары жартылай өткізгіштер өндірісіндегі ою процестерінің өсіп келе жатқан талаптарын қанағаттандырады. Олар жоғары плазмалық қуат пен энергияға төтеп беруге арналғансыйымдылықпен байланысқан плазма (CCP)жүйелер.

VeTek Semiconductor компаниясының SiC фокустау сақиналары жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде ерекше өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді. Жоғары сапа мен тиімділік үшін SiC құрамдастарын таңдаңыз.

View as

<1 2 >

Қытайдағы кәсіби Қатты кремний карбиді өндіруші және жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін теңшелген қызметтер қажет пе немесе Қытайда жасалған жетілдірілген және берік Қатты кремний карбиді сатып алғыңыз келсе, бізге хабарлама қалдыра аласыз.