Vetek Semiconductor пластинаны өңдеудің соңы эффекторы жартылай өткізгішті өңдеудің, пластиналарды тасымалдаудың және олардың беттерін зақымданудан қорғаудың маңызды бөлігі болып табылады. VeTek Semiconductor, Wafer Handling End Effector жетекші өндірушісі және жеткізушісі ретінде әрқашан тұтынушыларға вафли өңдеу роботтық қолының тамаша өнімдерін және ең жақсы қызметтерді ұсынуға ұмтылады. біз вафельді өңдеу құралдары өнімдерінде сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Вафли өңдеудің соңы эффекторы – жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін арнайы әзірленген, әдетте өңдеу және тасымалдау үшін пайдаланылатын робот қолының түрі.вафли. Вафельді өндіру ортасы өте жоғары тазалықты талап етеді, өйткені ұсақ бөлшектер немесе ластаушы заттар өңдеу кезінде чиптердің істен шығуына әкелуі мүмкін. Керамикалық материалдар тамаша физикалық және химиялық қасиеттеріне байланысты бұл қолдарды өндіруде кеңінен қолданылады.
Дәстүрлі металл материалдармен салыстырғанда, артықшылықтарыкерамикаматериалдарда негізінен келесі аспектілерде көрінеді:
•Коррозияға төзімділік: Вафельдер өндіріс процесінде әртүрлі химиялық заттардың әсеріне ұшырайды, ал керамикалық материалдар коррозияға тиімді қарсы тұра алады және жабдықты ұзақ мерзімді пайдалануды қамтамасыз етеді.
•Бөлшектердің аз бөлінуі: Керамика бөлшектердің бөлінуі өте төмен болғандықтан, өңдеу процесінде олар бөлшектерді әрең шығармайды, осылайша пластинаның ластану қаупін азайтады.
•Жоғары температураға жақсы төзімділік: Кейбір процестерде пластиналар жоғары температуралы ортада өңделуі керек және керамикалық материалдардың вафельді өңдеу роботының жоғары температураға төзімділігі олардың осы қатал орталарға бейімделуіне мүмкіндік береді.
•Электрлік оқшаулау: Керамика табиғи электр оқшаулағыштары болып табылады, олар токпен байланысты процестерді өңдеу үшін өте маңызды және статикалық электр тогының пластинкаларға әсер етуіне жол бермейді.
Кәдімгі пластинаны өңдеу жабдықтары алюминийден жасалған, SiC-тен жасалған VetekSemi Wafer Handling SiC Boat көптеген артықшылықтарға ие. SiC тамаша механикалық беріктігімен, тамаша термиялық тұрақтылығымен және коррозияға төзімділігімен танымал. Бұл қасиеттер оны тазалық, дәлдік және сенімділік маңызды болып табылатын вафлимен жұмыс істейтін роботтық қол үшін тамаша материал етеді.
Жартылай өткізгіштер технологиясының үздіксіз дамуымен пластинаның өлшемдері бірте-бірте өсті, бұл Вафли өңдеудің соңы эффекторын жобалау мен өндіруге жоғары талаптарды қойды. Болашақта автоматтандыру технологиясын жетілдіре отырып, Wafer Handling үшін End Effector дәлдігі, жылдамдығы және сенімділігі жақсара береді.
Жартылай өткізгішті өндірудегі негізгі жабдықтардың бірі ретінде пластинаны өңдеу роботтары жоғары тазалығы, коррозияға төзімділігі және жоғары температура тұрақтылығы арқасында жартылай өткізгіш зауыттарында маңызды орын алады. VeTek Semiconductor тұтынушыларға вафли өңдеудің соңы әсер ететін өнімдерді және сату алдындағы және сатудан кейінгі қызметтерді ұсына алады және сіздің кеңесіңізді күтеді.
VeTekSemi Вафельді өңдеудің соңы эффекторы: