ALD балқытылған кварц тұғыры

VeTek Semiconductor ALD балқытылған кварц тұғыры жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде тірек құрылымы ретінде маңызды рөл атқарады.кварц қайығыұстау үшін пайдаланыладывафли. Балқытылған кварц тұғыры жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сенімділігіне тікелей әсер ететін тұрақты температураны сақтау арқылы пленканың біркелкі тұндырылуына қол жеткізуге көмектеседі. Сонымен қатар, кварц тұғыры технологиялық камерада жылу мен жарықтың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, осылайша тұндыру процесінің жалпы сапасын жақсартады.

ALD балқытылған кварц тұғыр материалының артықшылықтары

Жоғары температураға төзімділік: Балқытылған кварц тұғырының жұмсарту температурасы шамамен 1730°C және ол 1100°C-ден 1250°C-қа дейінгі жоғары температура жұмысына ұзақ уақыт бойы төтеп бере алады және 1450°C-қа дейінгі төтенше температуралық орталарға ұшырауы мүмкін. қысқа уақытқа.

Тамаша коррозияға төзімділік: Балқытылған кварц фтор қышқылынан басқа барлық дерлік қышқылдарға өте химиялық инертті. Оның қышқылға төзімділігі керамикадан 30 есе, тот баспайтын болаттан 150 есе жоғары. Балқытылған кварц жоғары температурада химиялық жағынан теңдесі жоқ, бұл оны күрделі химиялық процестер үшін тамаша материал етеді.

Термиялық тұрақтылық: Балқытылған кварц тұғыр материалының басты ерекшелігі оның термиялық кеңеюдің өте төмен коэффициенті болып табылады. Бұл оның температураның күрт ауытқуларын крекингсіз оңай жеңе алатынын білдіреді. Мысалы, балқытылған кремнеземдік кварцты 1100 ° C-қа дейін тез қыздыруға және зақымдамай тікелей суық суға батыруға болады, бұл жоғары кернеулі өндіріс жағдайында маңызды мүмкіндік.

Қатаң өндіріс процесі: Балқытылған кремний тұғырларын өндіру процесі жоғары сапа стандарттарын қатаң сақтайды. Өндіріс процесінде әдетте 10 000 класты таза бөлме жағдайында аяқталатын ыстық қалыптау және дәнекерлеу процестері қолданылады. Содан кейін балқытылған кварц шыны тұғыры өнімнің тазалығы мен оңтайлы өнімділігін қамтамасыз ету үшін өте таза сумен (18 МΩ) мұқият тазаланады. Әрбір дайын өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің жоғары стандарттарына сай болу үшін 1000 немесе одан жоғары класты таза бөлмеде мұқият тексеріледі, тазаланады және оралады.

Жоғары таза мөлдір емес кремний кварц материалы

VeTeksemi ALD балқытылған кварц тұғыры жылу мен жарықты тиімді оқшаулау үшін жоғары тазалықтағы мөлдір емес кварц материалын пайдаланады. Оның тамаша жылудан қорғайтын және жарықтан қорғайтын қасиеттері технологиялық камерада біркелкі температураның таралуын сақтауға мүмкіндік береді, бұл жұқа қабаттың біркелкілігі мен консистенциясын қамтамасыз етеді.фильмді тұндырувафли бетінде.

Қолданба өрістері

Балқытылған кварц тұғырлары тамаша өнімділігіне байланысты жартылай өткізгіш өнеркәсібінің көптеген салаларында кеңінен қолданылады. жылыатомдық қабаттың тұндыру (ALD) процесі, ол пленканың өсуін дәл бақылауды қолдайды және жартылай өткізгіш құрылғылардың жетілдірілуін қамтамасыз етеді. жылытөмен қысымды химиялық бу тұндыру (LPCVD) процесі, жоғары тазалықтағы кварц тұғырының термиялық тұрақтылығы мен жарықтан қорғау қабілеті жұқа қабықшалардың біркелкі тұндырылуына кепілдік береді, осылайша құрылғы өнімділігі мен өнімділігін арттырады.

Сонымен қатар, диффузиялық вафли процесінде Fused Quartz Pedestal жоғары температураға төзімділігі мен химиялық коррозияға төзімділігі жартылай өткізгіш материалды қоспалау процесінің сенімділігі мен дәйектілігін қамтамасыз етеді. Бұл негізгі процестер жартылай өткізгіш құрылғылардың электрлік өнімділігін анықтайды және жоғары сапалы балқытылған кварц материалдары осы процестердің ең жақсы нәтижелеріне қол жеткізуде таптырмас рөл атқарады.

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz тұғыр дүкендері: