Жартылай өткізгішті кварц қоңырауы

Vetek Semiconductor - бұл Қытайдағы кәсіпқой жартылай өткізгіш кварц қоңырау банкі өндірушісі және жеткізушісі. Біздің жартылай өткізгіш кварц қоңырау банкасы жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының негізгі компоненттерінде, әсіресе CVD, диффузия, тотығу және PVD процестерінде кеңінен қолданылады. Vetek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған жетілдірілген жартылай өткізгіш кварц қоңырау банкі өнімдерін және техникалық шешімдерді қамтамасыз етуге міндеттенеді. Қосымша сұрауларыңызға қош келдіңіз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

ТұқымЖартылай өткізгішКварц қоңырауыжартылай өткізгіштерді өңдеуде бірнеше негізгі рөл атқарады. the қоңыраулы банка вакуум жүйесітұрақты және басқарылатын реакция ортасын қамтамасыз етіп қана қоймайды, сонымен қатар оның тамаша термиялық тұрақтылығы, химиялық инерттілігі және оптикалық мөлдірлігі арқылы әртүрлі процестердің тиімділігі мен дәлдігін қамтамасыз етеді. Бұл сипаттамалар да соны анықтайдықоңыраулы вакуумдық камеражартылай өткізгіштерді өндіру процесінде таптырмас құрамдас өнім болып табылады.

ТұқымЖартылай өткізгіш кварц бақыланатын жағдайларда технологиялық газдардың біркелкі таралуына және пластинаның бетімен әрекеттесуге мүмкіндік беретін тығыздалған өңдеу ортасын жасайды. Сондықтан,Жартылай өткізгішті кварц қоңырауыәдетте атмосфераның құрамы мен қысымын дәл бақылау үшін CVD, диффузия және тотығу сияқты процестерде қолданылады, осылайша пленканың біркелкілігі мен материалдың тазалығын қамтамасыз етеді.

Сонымен бірге кварц материалдары тамаша термиялық тұрақтылыққа, жоғары температураға төзімділікке (жартылай өткізгішті өңдеудегі жоғары температуралық орта әдетте 1000 ° C немесе одан да жоғары) және қыздыру және салқындату кезінде тұрақты пішін мен өлшемді сақтаудың өнім сипаттамаларына ие. Бұл анықтайдыКварц қоңырауыдиффузия мен тотығудың жоғары температуралық ортасында пластинаның бетінің температурасының біркелкілігін толығымен қамтамасыз ете алады, осылайша тұндырылған немесе диффузиялық қабаттың сапасы мен біркелкілігін жақсартады.

Ең бастысы,ТұқымSemiconductor жоғары тазалықтағы кварц жоғары температуралы ортада технологиялық газдармен әрекеттесу оңай емес және коррозияға төзімділігі жоғары. Өнімнің бұл сипаттамасы коррозиялық газдарды пайдаланатын процестерде (мысалы, кейбір CVD процестері)Жартылай өткізгішті кварц қоңырауыхимиялық тұрақтылықты толығымен сақтай алады, осылайша жартылай өткізгіш құрылғылардың ластануын болдырмайды.

VeTek жартылай өткізгішКварц қоңырауы: