Күштік электроника, оптоэлектроника және басқа салаларда SiC материалдарына сұраныстың артуы жағдайында SiC монокристалды өсу технологиясын дамыту ғылыми және технологиялық инновациялардың негізгі саласына айналады. SiC монокристалды өсіру жабдығының негізгі бөлігі ретінде жылу өрісінің дизайны әлі ......
Ары қарай оқуЧиптерді жасау процесі фотолитография, сызу, диффузия, жұқа пленка, иондық имплантация, химиялық механикалық жылтырату, тазалау және т.б. қамтиды. Бұл мақалада MOSFET жасау үшін осы процестердің ретімен қалай біріктірілгені шамамен түсіндіріледі.
Ары қарай оқу