VeTek Semiconductor компаниясының жартылай өткізгішке арналған PSS сызу тасымалдаушы пластинасы - бұл пластинаны өңдеу процестеріне арналған жоғары сапалы, өте таза графит тасымалдаушы. Біздің тасымалдаушылар тамаша өнімділікке ие және қатал ортада, жоғары температурада және қатал химиялық тазалау жағдайында жақсы жұмыс істей алады. Біздің өнімдер көптеген еуропалық және американдық нарықтарда кеңінен қолданылады және біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгішке арналған жоғары сапалы PSS Etching Carrier Plate ұсынғымыз келеді. VeTek Semiconductor компаниясының жартылай өткізгішке арналған PSS сызу тасымалдаушы пластинасы жартылай өткізгіш өнеркәсібінде Плазмалық көздің спектроскопиясы (PSS) ою процесі үшін пайдаланылатын арнайы компонент болып табылады. Бұл пластина жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеу кезінде қолдау және тасымалдауда шешуші рөл атқарады. Бізді сұрауға қош келдіңіз!
Дәл дизайн: Тасымалдаушы пластина жартылай өткізгіш пластиналар бойынша біркелкі және дәйекті оюды қамтамасыз ету үшін дәл өлшемдерімен және бетінің тегістігімен жасалған. Ол вафлилер үшін тұрақты және басқарылатын платформаны қамтамасыз етеді, дәл және сенімді ою нәтижелерін алуға мүмкіндік береді.
Плазма төзімділігі: Тасымалдаушы пластина ою процесінде қолданылатын плазмаға тамаша қарсылық көрсетеді. Ол реактивті газдар мен жоғары энергиялы плазмаға әсер етпей, ұзақ қызмет ету мерзімін және тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.
Жылуөткізгіштік: Тасымалдаушы пластина сырлау процесі кезінде пайда болатын жылуды тиімді тарату үшін жоғары жылу өткізгіштікке ие. Бұл оңтайлы температура бақылауын сақтауға көмектеседі және жартылай өткізгіш пластинкалардың қызып кетуіне жол бермейді.
Үйлесімділік: PSS Etching Carrier Plate әр түрлі өндірістік процестерде әмбебаптылық пен пайдаланудың қарапайымдылығын қамтамасыз ететін салада жиі қолданылатын әртүрлі жартылай өткізгіш пластиналар өлшемдерімен үйлесімді болу үшін жасалған.
CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері | |
Меншік | Типтік мән |
Кристалл құрылымы | FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған |
Тығыздығы | 3,21 г/см³ |
Қаттылық | 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме) |
Астық өлшемі | 2~10мкм |
Химиялық тазалық | 99,99995% |
Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Сублимация температурасы | 2700℃ |
Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
Жас модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
Жылу өткізгіштік | 300Вт·м-1·К-1 |
Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6К-1 |