SiC жабыны бар ICP сызу тасығышы

VeTek Semiconductor компаниясының SiC қапталған ICP сызу тасығышы эпитаксистік жабдықтың ең талап етілетін қолданбаларына арналған. Жоғары сапалы ультра таза графит материалынан жасалған, біздің SiC қапталған ICP сызу тасымалдағышы өңдеу кезінде қатал жағдайларға төтеп беретін өте тегіс беті және тамаша коррозияға төзімділігі бар. SiC жабыны бар тасымалдаушының жоғары жылу өткізгіштігі тамаша оюлау нәтижелері үшін жылуды біркелкі бөлуді қамтамасыз етеді. VeTek Semiconductor сізбен ұзақ мерзімді серіктестік құруды асыға күтеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Өндірістегі көп жылдық тәжірибесі бар SiC Coated ICP Etch Carrier, VeTek Semiconductor жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін SiC қапталған немесе TaC жабыны бар қосалқы бөлшектердің кең ауқымын жеткізе алады. Төмендегі өнімдер тізімінен басқа, сіз өзіңіздің ерекше SiC жабыны бар немесе TaC жабыны бар өзіңіздің бірегей бөлшектеріңізді өзіңіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес реттей аласыз. Бізге сұрауға қош келдіңіз.

VeTek Semiconductor компаниясының ICP тасымалдаушылары, PSS тасымалдаушылары, RTP тасымалдаушылары немесе RTP тасымалдаушылары ретінде белгілі SiC қапталған ICP Эттинг тасымалдаушысы жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбаларда қолданылатын маңызды құрамдас бөліктер болып табылады. Кремний карбидімен қапталған графит осы ток тасымалдаушыларды өндіру үшін пайдаланылатын негізгі материал болып табылады. Ол жоғары жылу өткізгіштікке ие, сапфир субстратының жылу өткізгіштігінен 10 есе артық. Бұл қасиет, оның жоғары роликті электр өрісінің күшімен және максималды ток тығыздығымен үйлеседі, кремний карбидін әртүрлі қолданбаларда, әсіресе жартылай өткізгіш жоғары қуатты компоненттерде, кремнийді әлеуетті ауыстыру ретінде зерттеуге түрткі болды. SiC ток тасымалдаушы пластиналары жоғары жылу өткізгіштікке ие, бұл оларды жарықдиодты өндіріс процестеріне өте ыңғайлы етеді. Олар жылуды тиімді таратуды қамтамасыз етеді және жоғары қуатты жарықдиодтарды өндіруге үлес қоса отырып, тамаша электр өткізгіштігін қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, бұл тасымалдаушы пластиналардың плазмалық төзімділігі және ұзақ қызмет ету мерзімі бар, олар жартылай өткізгіштерді өндірудің талап етілетін ортасында сенімді өнімділік пен қызмет мерзімін қамтамасыз етеді.

SiC жабындысы бар ICP сызу тасымалдаушысының өнім параметрі:

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік	Типтік мән
Кристалл құрылымы	FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
Тығыздығы	3,21 г/см³
Қаттылық	2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі	2~10мкм
Химиялық тазалық	99,99995%
Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг-1·К-1
Сублимация температурасы	2700℃
Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік	300Вт·м-1·К-1
Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10-6К-1