SiC қапталған вафли ұстағышы

VeTek Semiconductor - Қытайдағы SiC қапталған вафли ұстағыш өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. SiC қапталған пластинаны ұстағыш жартылай өткізгішті өңдеудегі эпитаксистік процеске арналған пластинка ұстағышы болып табылады. Бұл пластинаны тұрақтандыратын және эпитаксиалды қабаттың біркелкі өсуін қамтамасыз ететін алмастырылмайтын құрылғы. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek Semiconductor компаниясының SiC қапталған вафли ұстағышы әдетте жартылай өткізгішті өңдеу кезінде пластиналарды бекіту және қолдау үшін пайдаланылады. Бұл жоғары өнімділіквафельді тасымалдаушыжартылай өткізгіштер өндірісінде кеңінен қолданылады. Бетіне кремний карбидінің (SiC) қабатын жабу арқылысубстрат, өнім өңдеу процесінің тұрақтылығы мен дәлдік талаптарын қамтамасыз ете отырып, субстратты коррозиядан тиімді түрде алдын алады және вафли тасымалдаушысының коррозияға төзімділігі мен механикалық беріктігін жақсартады.

SiC қапталған вафли ұстағышыәдетте жартылай өткізгішті өңдеу кезінде пластиналарды бекіту және қолдау үшін қолданылады. Бұл жартылай өткізгіш өндірісінде кеңінен қолданылатын жоғары өнімді пластинаны тасымалдаушы. қабатын жабу арқылыкремний карбиді (SiC)субстрат бетінде өнім субстратты коррозиядан тиімді болдырмайды және өңдеу процесінің тұрақтылығы мен дәлдік талаптарын қамтамасыз ете отырып, вафли тасымалдаушысының коррозияға төзімділігі мен механикалық беріктігін жақсартады.

Кремний карбидінің (SiC) балқу температурасы шамамен 2730°C және тамаша жылу өткізгіштігі шамамен 120–180 Вт/м·К. Бұл қасиет жоғары температура процестерінде жылуды тез таратады және пластиналар мен тасымалдаушы арасындағы қызып кетуді болдырмайды. Сондықтан, SiC қапталған вафли ұстағышы әдетте субстрат ретінде кремний карбиді (SiC) қапталған графитті пайдаланады.

SiC өте жоғары қаттылығымен (Виккерс қаттылығы шамамен 2500 HV) біріктірілген, CVD процесінде тұндырылған кремний карбиді (SiC) жабыны SiC қапталған вафли ұстағышының тозуға төзімділігін айтарлықтай жақсартатын тығыз және күшті қорғаныс жабынын құра алады. .

VeTek Semiconductor компаниясының SiC қапталған вафли ұстағышы SiC қапталған графиттен жасалған және қазіргі заманғы жартылай өткізгіш эпитаксистік процестердің таптырмас негізгі компоненті болып табылады. Ол графиттің тамаша жылу өткізгіштігін (жылу өткізгіштігі бөлме температурасында шамамен 100-400 Вт/м·К) және механикалық беріктігін және кремний карбидінің тамаша химиялық коррозияға төзімділігін және термиялық тұрақтылығын (SiC балқу температурасы шамамен 2,730°C), бүгінгі жоғары сапалы жартылай өткізгіштерді өндіру ортасының қатаң талаптарына тамаша жауап береді.

Бұл жалғыз вафельді дизайн ұстағышты дәл басқара аладыэпитаксиалды процесспараметрлері, бұл жоғары сапалы, өнімділігі жоғары жартылай өткізгіш құрылғыларды шығаруға көмектеседі. Оның бірегей құрылымдық дизайны пластинаның бүкіл процесс бойына барынша мұқият және дәлдікпен өңделуін қамтамасыз етеді, осылайша эпитаксиалды қабаттың тамаша сапасын қамтамасыз етеді және соңғы жартылай өткізгіш өнімнің өнімділігін жақсартады.

Қытайдың көшбасшысы ретіндеSiC қапталғанВафель ұстағышының өндірушісі және жетекшісі VeTek Semiconductor сіздің жабдық пен технологиялық талаптарға сәйкес арнайы өнімдер мен техникалық қызметтерді ұсына алады.Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

CVD SIC ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫНЫҢ SEM ДЕРЕКТЕРІ：

SEM DATA OF CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік	Типтік мән
Кристалл құрылымы	FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
Тығыздығы	3,21 г/см³
Қаттылық	2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі	2~10мкм
Химиялық тазалық	99,99995%
Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг^-1· Қ^-1
Сублимация температурасы	2700℃
Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік	300Вт·м^-1· Қ^-1
Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10^-6K^-1