SiC жабыны бар ALD сенсоры

VeTek жартылай өткізгішSiC жабыны бар ALD сенсорыатом қабатының шөгуінде маңызды рөл атқарады (ALD) процесс. Оның температураны дәл бақылауы, газдың біркелкі таралуы, жоғары химиялық төзімділігі және тамаша жылу өткізгіштігі пленка тұндыру процесінің біркелкілігі мен жоғары сапасын қамтамасыз етеді. Егер сіз көбірек білгіңіз келсе, бізбен дереу кеңес ала аласыз, біз сізге уақытында жауап береміз!

Температураны дәл бақылау:

SiC жабыны бар ALD сенсоры әдетте жоғары дәлдіктегі температураны басқару жүйесімен жабдықталған. Ол бүкіл тұндыру процесінде біркелкі температуралық ортаны сақтай алады, бұл пленканың біркелкілігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін өте маңызды.

Газдың біркелкі таралуы:

SiC жабыны бар ALD сенсорының оңтайландырылған дизайны ALD тұндыру процесі кезінде газдың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Оның құрылымы әдетте пластинаның бүкіл беті бойынша реактивті газдарды біркелкі жабуға ықпал ететін бірнеше айналмалы немесе қозғалатын бөліктерді қамтиды.

Жоғары химиялық төзімділік:

ALD процесі әртүрлі химиялық газдарды қамтитындықтан, SiC жабыны бар ALD сенсоры әдетте химиялық газдардың эрозиясына және жоғары температуралық ортаның әсеріне қарсы тұру үшін коррозияға төзімді материалдардан (мысалы, платина, керамика немесе жоғары таза кварц) жасалады.

Тамаша жылу өткізгіштік:

Жылуды тиімді өткізу және тұрақты тұндыру температурасын сақтау үшін SiC жабынымен қапталған ALD сенсорлары әдетте жоғары жылу өткізгіш материалдарды пайдаланады. Бұл жергілікті қызып кетуді және біркелкі емес тұндыруды болдырмауға көмектеседі.

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

Өндірістік цехтар:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу：