VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.
Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу және құрылғыларды өндіру үшін ажырамас болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумдық пештерде және жоғары вакуумды, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.
VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.
Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LED т.б., ол LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және т.б. жабдықтарға бейімделген.
CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері | |
Меншік | Типтік мән |
Кристалл құрылымы | FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған |
Тығыздығы | 3,21 г/см³ |
Қаттылық | 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме) |
Астық өлшемі | 2~10мкм |
Химиялық тазалық | 99,99995% |
Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Сублимация температурасы | 2700℃ |
Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
Жас модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
Жылу өткізгіштік | 300Вт·м-1·К-1 |
Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6К-1 |
VeTek Semiconductor - Қытайдағы SiC Coating Epi Susceptor өнімдерінің жетекші өндірушісі, инноваторы және көшбасшысы. Көптеген жылдар бойы біз SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC жабынымен ALD сенсоры және т. өнеркәсіп. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы CVD SiC Coating және TAC Coating жетекші өндірушісі, инноваторы және көшбасшысы. Көптеген жылдар бойы біз CVD SiC қапталған юбка, CVD SiC жабын сақинасы, CVD SiC жабын тасымалдаушы және т.б. сияқты CVD SiC жабыны өнімдеріне назар аударып келеміз. VeTek Semiconductor теңшелген өнім қызметтері мен қанағаттанарлық өнім бағасын қолдайды және сізді одан әрі күтеді. кеңес беру.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЖетекші қытайлық жартылай өткізгіш өнім өндірушісі және көшбасшысы ретінде VeTek Semiconductor көптеген жылдар бойы ультракүлгін жарықдиодты эпиляциялық қабылдағыш, терең ультракүлгін жарықдиодты эпитаксиалды қабылдағыш, SiC жабынының сіңіргіші, MOCVD сусцепторы және т.б. сияқты сусептор өнімдерінің әртүрлі түрлеріне назар аударады. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады және біз Қытайдағы серіктес болуды шын жүректен күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVetek Semiconductor компаниясының CVD SiC жабындысы негізінен Si Epitaxy үшін қолданылады. Ол әдетте кремний ұзартқыш бөшкелермен бірге қолданылады. Ол жартылай өткізгіштер өндірісінде ауа ағынының біркелкі таралуын айтарлықтай жақсартатын CVD SiC қаптама қалқасының бірегей жоғары температурасы мен тұрақтылығын біріктіреді. Біздің өнімдер сізге озық технология мен жоғары сапалы өнім шешімдерін жеткізе алады деп сенеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVetek Semiconductor компаниясының CVD SiC графит цилиндрі жартылай өткізгішті жабдықта маңызды рөл атқарады, ол жоғары температура мен қысым жағдайында ішкі компоненттерді қорғау үшін реакторлар ішінде қорғаныс қалқан ретінде қызмет етеді. Ол химиялық заттар мен қатты қызудан тиімді қорғайды, жабдықтың тұтастығын сақтайды. Ерекше тозуға және коррозияға төзімділікке ие, ол қиын орталарда ұзақ өмір сүруді және тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Бұл қақпақтарды пайдалану жартылай өткізгіш құрылғының жұмысын жақсартады, қызмет ету мерзімін ұзартады және техникалық қызмет көрсету талаптары мен зақымдану қаупін азайтады. Бізді сұрауға қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVetek Semiconductor компаниясының CVD SiC жабу саптамалары жартылай өткізгішті өндіру кезінде кремний карбиді материалдарын тұндыру үшін LPE SiC эпитаксистік процесінде қолданылатын маңызды құрамдас бөліктер болып табылады. Бұл саптамалар әдетте қатал өңдеу орталарында тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін жоғары температураға және химиялық тұрақты кремний карбидті материалдан жасалған. Біркелкі тұндыру үшін жасалған, олар жартылай өткізгіш қолданбаларда өсірілген эпитаксиалды қабаттардың сапасы мен біркелкілігін бақылауда маңызды рөл атқарады. Сізбен ұзақ мерзімді ынтымақтастық орнатуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу