VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.
Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу және құрылғыларды өндіру үшін ажырамас болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумдық пештерде және жоғары вакуумды, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.
VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.
Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LED т.б., ол LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және т.б. жабдықтарға бейімделген.
CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері | |
Меншік | Типтік мән |
Кристалл құрылымы | FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған |
Тығыздығы | 3,21 г/см³ |
Қаттылық | 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме) |
Астық өлшемі | 2~10мкм |
Химиялық тазалық | 99,99995% |
Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Сублимация температурасы | 2700℃ |
Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
Жас модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
Жылу өткізгіштік | 300Вт·м-1·К-1 |
Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6К-1 |
VeTek Semiconductor компаниясының EPI сенсоры эпитаксиалды жабдықты қажет ететін қолданбаларға арналған. Оның жоғары таза кремний карбиді (SiC) қапталған графит құрылымы тамаша ыстыққа төзімділікті, эпитаксиалды қабаттың тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін біркелкі жылу біркелкілігін және ұзақ уақытқа созылатын химиялық төзімділікті ұсынады. Біз сізбен ынтымақтастықты асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіпқой SiC қаптамасының вафли тасымалдаушысының өндірушісі және жеткізушісі ретінде Vetek Semiconductor компаниясының SiC қаптамасының вафли тасымалдаушылары негізінен эпитаксиалды қабаттың өсу біркелкілігін жақсарту үшін қолданылады, олардың тұрақтылығы мен тұтастығын жоғары температурада және коррозиялық ортада қамтамасыз етеді. Сіздің сұрауыңызды күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы ALD Susceptor, CVD SiC жабыны, CVD TAC COATING графит негізінің кәсіби өндірушісі. Vetek Semiconductor компаниясы ALD процесінің жоғары талаптарын қанағаттандыру және субстраттағы ауа ағынын біркелкі бөлу үшін ALD жүйесінің өндірушілерімен бірге SiC қапталған ALD планеталық негіздерін әзірледі және шығарды. Біз сізбен одан әрі ынтымақтастықты асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы CVD SiC қапталған төбенің кәсіби өндірушісі және жеткізушісі ретінде VeTek Semiconductor компаниясының CVD SiC қапталған төбесі жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, жоғары қаттылық және төмен жылу кеңею коэффициенті сияқты тамаша қасиеттерге ие, бұл оны жартылай өткізгіш өндірісінде тамаша материал таңдауына айналдырады. Біз сізбен одан әрі ынтымақтастықты асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor кәсіби өндірушісі. VeTek Semiconductor компаниясының MOCVD LED Epi Susceptor эпитаксиалды жабдықты қажет ететін қолданбаларға арналған. Оның жоғары жылу өткізгіштігі, химиялық тұрақтылығы және беріктігі тұрақты эпитаксиалды өсу процесін және жоғары сапалы жартылай өткізгіш пленка өндірісін қамтамасыз ететін негізгі факторлар болып табылады. Біз сізбен одан әрі ынтымақтастықты асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіпқой SiC жабыны бар ALD сенсорын өндіруші және жеткізуші ретінде VeTek Semiconductor компаниясының SiC жабыны бар ALD сенсоры атомдық қабаттың тұндыру (ALD) процесінде арнайы қолданылатын тірек компоненті болып табылады. Ол тұндыру процесінің біркелкілігі мен дәлдігін қамтамасыз ететін ALD жабдығында негізгі рөл атқарады. Біздің ALD Planetary Susceptor өнімдері сізге жоғары сапалы өнім шешімдерін жеткізе алады деп сенеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу