Үй > Өнімдер > Тантал карбиді жабыны

Қытай Тантал карбиді жабыны Өндіруші, жеткізуші, зауыт

VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксиялық процесс кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.


Негізгі өнімдер болып табыладыТантал карбидімен қапталған дефектор сақинасы, TaC жабыны бар бұру сақинасы, TaC қапталған жарты ай бөліктері, тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискісі (Aixtron G10), TaC қапталған тигель; TaC қапталған сақиналар; TaC қапталған кеуекті графит; Тантал карбиді жабынының графитті сіңіргіші; TaC қапталған бағыттаушы сақина; TaC тантал карбидімен қапталған пластина; TaC қапталған вафельді қабылдағыш; TaC жабу сақинасы; TaC жабынының графит қақпағы; TaC қапталған кесект.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.


TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:


Excellent properties of TaC coating graphite


Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.


Негізгі мүмкіндіктер:

 ●Температураның тұрақтылығы

 ●Ультра жоғары тазалық

 ●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі

 ●Жылу қорына төзімділік

 ●Графитке күшті адгезия

 ●Конформды жабу

 Диаметрі 750 мм дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)


Қолданбалар:

 ●Вафельді тасымалдаушы

 ● Индуктивті қыздыру қабылдағыш

 ● Резистивті қыздыру элементі

 ●Спутниктік диск

 ●Душ басы

 ●Бағыттаушы сақина

 ●LED Epi қабылдағыш

 ●Инъекцияға арналған саптама

 ●Маска сақинасы

 ● Жылу қалқаны


Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы 14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия 0.3
Термиялық кеңею коэффициенті 6.3 10-6
Қаттылық (HK) 2000 HK
Қарсылық 1×10-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық <2500℃
Графит өлшемі өзгереді -10~-20ум
Қаптау қалыңдығы ≥20um типтік мән (35um±10um)


TaC жабыны EDX деректері

EDX data of TaC coating


TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Элемент Атомдық пайыз
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Орташа
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
<...45678>
Қытайдағы кәсіби Тантал карбиді жабыны өндіруші және жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін теңшелген қызметтер қажет пе немесе Қытайда жасалған жетілдірілген және берік Тантал карбиді жабыны сатып алғыңыз келсе, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept