VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксиялық процесс кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.
Негізгі өнімдер болып табыладыТантал карбидімен қапталған дефектор сақинасы, TaC жабыны бар бұру сақинасы, TaC қапталған жарты ай бөліктері, тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискісі (Aixtron G10), TaC қапталған тигель; TaC қапталған сақиналар; TaC қапталған кеуекті графит; Тантал карбиді жабынының графитті сіңіргіші; TaC қапталған бағыттаушы сақина; TaC тантал карбидімен қапталған пластина; TaC қапталған вафельді қабылдағыш; TaC жабу сақинасы; TaC жабынының графит қақпағы; TaC қапталған кесект.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.
TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:
Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.
●Температураның тұрақтылығы
●Ультра жоғары тазалық
●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі
●Жылу қорына төзімділік
●Графитке күшті адгезия
●Конформды жабу
● Диаметрі 750 мм дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)
● Индуктивті қыздыру қабылдағыш
● Резистивті қыздыру элементі
● Жылу қалқаны
TaC жабынының физикалық қасиеттері | |
Тығыздығы | 14,3 (г/см³) |
Меншікті эмиссия | 0.3 |
Термиялық кеңею коэффициенті | 6.3 10-6/Қ |
Қаттылық (HK) | 2000 HK |
Қарсылық | 1×10-5Ом*см |
Термиялық тұрақтылық | <2500℃ |
Графит өлшемі өзгереді | -10~-20ум |
Қаптау қалыңдығы | ≥20um типтік мән (35um±10um) |
Элемент | Атомдық пайыз | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Орташа | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының айналмалы тақтасы тамаша TaC жабынымен мақтана алады, TaC жабынының айналмалы пластинасының ерекше TaC жабыны бар, оны дәстүрлі шешімдерден ерекшелендіретін тамаша жоғары температураға төзімділігі мен химиялық инерттілігі бар. Біз бәсекеге қабілетті сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз. бағалар мен Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабын тақтасы - ерекше мүмкіндіктер мен артықшылықтарды ұсынатын тамаша өнім. Дәлдікпен жасалған және кемелділікке дейін жасалған, біздің TaC жабын пластина кремний карбидінің (SiC) монокристалды өсу процестерінде әртүрлі қолданбалар үшін арнайы әзірленген. TaC жабын пластинасының дәл өлшемдері мен берік конструкциясы бар жүйелерге біріктіруді жеңілдетеді және үздіксіз үйлесімділікті қамтамасыз етеді. және тиімді жұмыс. Оның сенімді өнімділігі мен жоғары сапалы жабыны SiC кристалын өсіру қолданбаларында дәйекті және біркелкі нәтижелерге ықпал етеді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor ұсынатын CVD TaC жабынының қақпағы - арнайы талап етілетін қолданбаларға арналған жоғары мамандандырылған компонент. Жетілдірілген мүмкіндіктерімен және ерекше өнімділігімен біздің CVD TaC жабын жабыны бірнеше негізгі артықшылықтарды ұсынады. Біздің CVD TaC жабын жабыны табысқа жету үшін қажетті қорғаныс пен өнімділікті қамтамасыз етеді. Біз сізбен әлеуетті ынтымақтастықты зерттеуді асыға күтеміз!
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor'TaC жабынының планеталық сіңіргіші Aixtron эпитаксистік жабдығына арналған ерекше өнім болып табылады. Берік TaC жабыны тамаша жоғары температураға төзімділік пен химиялық инерттілікті қамтамасыз етеді. Бұл бірегей комбинация, тіпті талап етілетін орталарда сенімді өнімділік пен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді. VeTek жоғары сапалы өнімдерді ұсынуға және бәсекеге қабілетті бағамен Қытай нарығында ұзақ мерзімді серіктес ретінде қызмет етуге ұмтылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының тұғырды тіреу тақтасы – жартылай өткізгіш эпитаксистік процестердің арнайы талаптарын қанағаттандыруға арналған жоғары дәлдіктегі өнім. TaC жабыны, жоғары температураға төзімділігі және химиялық инерттілігі арқасында біздің өнім сізге жоғары сапалы жоғары сапалы EPI қабаттарын шығаруға мүмкіндік береді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабу патронында жоғары температураға төзімділігімен және химиялық инерттілігімен, әсіресе кремний карбиді (SiC) эпитаксисі (EPI) процестерінде белгілі жоғары сапалы TaC жабыны бар. Ерекше мүмкіндіктерімен және жоғары өнімділігімен, біздің TaC жабатын патрон бірнеше негізгі артықшылықтарды ұсынады. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу