Кеуекті тантал карбиді

VeTek жартылай өткізгіш кеуекті тантал карбиді (TaC) – тантал мен көміртегінің қасиеттерін біріктіретін жоғары өнімді керамикалық материал. Оның кеуекті құрылымы жоғары температура мен экстремалды ортадағы арнайы қолданбалар үшін өте қолайлы. TaC тамаша қаттылықты, термиялық тұрақтылықты және химиялық төзімділікті біріктіреді, бұл оны жартылай өткізгіштерді өңдеуде тамаша материал таңдауына айналдырады.

Кеуекті тантал карбиді (TaC) тантал (Ta) және көміртектен (C) тұрады, онда тантал көміртегі атомдарымен күшті химиялық байланыс түзеді, бұл материалға өте жоғары беріктік пен тозуға төзімділік береді. Кеуекті TaC кеуекті құрылымы материалды өндіру процесінде жасалады және кеуектілікті қолданудың нақты қажеттіліктеріне сәйкес басқаруға болады. Бұл өнімді әдетте өндірушіхимиялық булардың тұндыру (CVD)әдісі, оның кеуек өлшемі мен таралуын дәл бақылауды қамтамасыз етеді.

Тантал карбидінің молекулалық құрылымы

VeTek жартылай өткізгіш кеуекті тантал карбиді (TaC) келесі өнім мүмкіндіктеріне ие:

- Кеуектілік: Кеуекті құрылым оған газ диффузиясы, фильтрация немесе басқарылатын жылу диссипациясын қоса, арнайы қолданба сценарийлерінде әртүрлі функцияларды береді.

- Жоғары балқу температурасы: Тантал карбидінің өте жоғары балқу температурасы шамамен 3,880°C, ол өте жоғары температуралы орталар үшін қолайлы.

- Тамаша қаттылық: Кеуекті TaC өте жоғары қаттылыққа ие, гауһарға ұқсас Mohs қаттылық шкаласында шамамен 9-10. , және экстремалды жағдайларда механикалық тозуға қарсы тұра алады.

- Термиялық тұрақтылық: Тантал карбиді (TaC) материалы жоғары температуралы орталарда тұрақты болып қала алады және жоғары температуралық орталарда оның тұрақты жұмысын қамтамасыз ететін күшті термиялық тұрақтылыққа ие.

- Жоғары жылу өткізгіштік: Кеуектілігіне қарамастан, кеуекті тантал карбиді тиімді жылу беруді қамтамасыз ете отырып, жақсы жылу өткізгіштігін сақтайды.

- Төмен термиялық кеңею коэффициенті: Тантал карбидінің (TaC) төмен термиялық кеңею коэффициенті материалдың температураның айтарлықтай ауытқуы кезінде өлшемді тұрақты болып қалуына көмектеседі және жылу кернеуінің әсерін азайтады.

TaC жабынының физикалық қасиеттері：

Жартылай өткізгіштерді өндіруде кеуекті тантал карбиді (TaC) келесі ерекше маңызды рөл атқарады.с:

сияқты жоғары температуралы процестердеплазмалық оюжәне CVD, VeTek жартылай өткізгіш Кеуекті тантал карбиді жиі өңдеу жабдықтары үшін қорғаныс жабыны ретінде пайдаланылады. Бұл күшті коррозияға төзімділігіне байланыстыTaC жабыныжәне оның жоғары температурадағы тұрақтылығы. Бұл қасиеттер оның реактивті газдарға немесе экстремалды температураға ұшыраған беттерді тиімді қорғауын қамтамасыз етеді, осылайша жоғары температуралық процестердің қалыпты реакциясын қамтамасыз етеді.

Диффузия процестерінде кеуекті тантал карбиді жоғары температуралы процестерде материалдардың араласуын болдырмау үшін тиімді диффузиялық тосқауыл ретінде қызмет ете алады. Бұл мүмкіндік көбінесе иондарды имплантациялау және жартылай өткізгіш пластинкалардың тазалығын бақылау сияқты процестерде қоспалардың диффузиясын бақылау үшін қолданылады.

VeTek жартылай өткізгіш кеуекті тантал карбидінің кеуекті құрылымы газ ағынын дәл бақылауды немесе сүзуді қажет ететін жартылай өткізгішті өңдеу орталары үшін өте қолайлы. Бұл процесте Кеуекті TaC негізінен газды сүзу және тарату рөлін атқарады. Оның химиялық инерттілігі сүзу процесінде ластаушы заттардың енгізілмеуін қамтамасыз етеді. Бұл өңделген өнімнің тазалығына тиімді кепілдік береді.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбиді (TaC) жабыны: