Тантал карбидімен қапталған қақпақ

VeTek Semiconductor Қытайдағы жетекші тантал карбиді қапталған қақпақ өндірушісі және инноваторы болып табылады. Біз көптеген жылдар бойы TaC және SiC жабыны бойынша мамандандық. Біздің өнімдеріміз коррозияға төзімді, жоғары беріктікке ие. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek Semiconductor дүкенінен Қытайдан келген тантал карбиді қапталған қақпақтың үлкен таңдауын табыңыз. Сатудан кейінгі кәсіби қызмет пен дұрыс бағаны ұсынып, ынтымақтастықты асыға күтіңіз. VeTek Semiconductor әзірлеген тантал карбидімен қапталған қақпақ тиімділікті оңтайландыруға және жартылай өткізгіш өндірісінің сапасын арттыруға бағытталған AIXTRON G10 MOCVD жүйесі үшін арнайы әзірленген аксессуар болып табылады. Ол металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) процестері үшін тамаша өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз ете отырып, жоғары сапалы материалдарды пайдалана отырып мұқият жасалған және өте дәлдікпен жасалған.

Химиялық будың тұндыруымен (CVD) тантал карбидімен (TaC) қапталған графит субстратынан жасалған, тантал карбидімен қапталған қақпақ ерекше термиялық тұрақтылықты, жоғары тазалықты және жоғары температураға төзімділікті ұсынады. Материалдардың бұл бірегей комбинациясы MOCVD жүйесінің күрделі жұмыс жағдайлары үшін сенімді шешімді қамтамасыз етеді.

Тантал карбидімен қапталған қақпақ әртүрлі жартылай өткізгіш пластинаның өлшемдерін орналастыру үшін теңшеуге болады, бұл оны әртүрлі өндірістік талаптарға сәйкес етеді. Оның берік конструкциясы қиын MOCVD ортасына төтеп беру үшін арнайы әзірленген, ұзақ мерзімді өнімділікті қамтамасыз етеді және вафельді тасымалдаушылар мен қабылдағыштармен байланысты тоқтау және техникалық қызмет көрсету шығындарын барынша азайтады.

TaC қақпағын AIXTRON G10 MOCVD жүйесіне қосу арқылы жартылай өткізгіш өндірушілер жоғары тиімділік пен жоғары нәтижелерге қол жеткізе алады. Ерекше термиялық тұрақтылық, әртүрлі пластинаның өлшемдерімен үйлесімділігі және Планетарлық дискінің сенімді өнімділігі оны өндіріс тиімділігін оңтайландыру және MOCVD процесінде тамаша нәтижелерге қол жеткізу үшін таптырмас құрал етеді.

Тантал карбидімен қапталған қақпақтың өнім параметрі

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3 10-6/К
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10-5 Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)