EPI үшін SiC қапталған графит баррельді қабылдағыш

VeTek Semiconductor - EPI үшін SiC қапталған графит баррельді қабылдағыштың кәсіби өндірушісі, жеткізушісі және экспорттаушысы. Кәсіби топ пен жетекші технологияның қолдауымен VeTek Semiconductor сізге жоғары сапаны қолайлы бағамен қамтамасыз ете алады. әрі қарай талқылау үшін біздің зауытқа келуіңізге қош келдіңіз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek Semiconductor - бұл Қытайдағы өндіруші және жеткізуші, ол негізінен көп жылдық тәжірибесі бар EPI үшін SiC қапталған графитті бөшкенің сенсорын шығарады. Сізбен іскерлік қарым-қатынас орнатуға үміттенеміз. EPI (Эпитаксия) жетілдірілген жартылай өткізгіштерді өндірудегі маңызды процесс болып табылады. Ол күрделі құрылғы құрылымдарын жасау үшін субстратқа материалдың жұқа қабаттарын қоюды қамтиды. EPI үшін SiC қапталған графит баррельді сезгіштері тамаша жылу өткізгіштікке және жоғары температураға төзімділігіне байланысты EPI реакторларында әдетте сенсорлар ретінде пайдаланылады. CVD-SiC жабынымен ол ластануға, эрозияға және термиялық соққыға төзімдірек болады. Бұл қабылдағыштың қызмет ету мерзімін ұзартады және пленка сапасын жақсартады.

Біздің SiC жабынымен қапталған графит баррельді қабылдағыштың артықшылықтары:

Ластану азаяды: SiC инертті табиғаты қоспалардың сіңіргіш бетіне жабысуын болдырмайды, бұл тұндырылған қабықшалардың ластану қаупін азайтады.

Эрозияға төзімділіктің жоғарылауы: SiC кәдімгі графитке қарағанда эрозияға айтарлықтай төзімді, бұл сезгіштің қызмет ету мерзімін ұзартады.

Жақсартылған жылу тұрақтылығы: SiC тамаша жылу өткізгіштікке ие және айтарлықтай бұрмаланбай жоғары температураға төтеп бере алады.

Жақсартылған пленка сапасы: жақсартылған термиялық тұрақтылық және ластануды азайту біркелкілігі мен қалыңдығын бақылау жақсартылған жоғары сапалы тұндырылған пленкаларға әкеледі.

Қолданбалар:

SiC қапталған графит баррельді сезгіштер әртүрлі EPI қолданбаларында кеңінен қолданылады, соның ішінде:

GaN негізіндегі жарықдиодты шамдар

Қуат электроникасы

Оптоэлектронды құрылғылар

Жоғары жиілікті транзисторлар

Сенсорлар

SiC қапталған графит бөшкесінің сусцепторының өнім параметрі

Изостатикалық графиттің физикалық қасиеттері
Меншік	Бірлік	Типтік мән
Көлемдік тығыздық	г/см³	1.83
Қаттылық	HSD	58
Электр кедергісі	мΩ.м	10
Иілу күші	МПа	47
Қысу күші	МПа	103
Беріктік шегі	МПа	31
Жас модулі	GPa	11.8
Термиялық кеңею (CTE)	10-6К-1	4.6
Жылу өткізгіштік	W·m-1·K-1	130
Дәннің орташа мөлшері	мкм	8-10
Кеуектілік	%	10
Күл мазмұны	ppm	≤10 (тазартылғаннан кейін)

Ескертпе: жабу алдында бірінші тазартуды жасаймыз, жабыннан кейін екінші тазартуды жасаймыз.

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік	Типтік мән
Кристалл құрылымы	FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
Тығыздығы	3,21 г/см³
Қаттылық	2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі	2~10мкм
Химиялық тазалық	99,99995%
Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг-1·К-1
Сублимация температурасы	2700℃
Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік	300Вт·м-1·К-1
Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10-6К-1

VeTek жартылай өткізгіштер өндірісі цехы

Hot Tags: EPI, Қытай, өндіруші, жеткізуші, зауыт, теңшелген, сатып алу, жетілдірілген, берік, Қытайда жасалған, SiC қапталған графит баррельді сіңіргіш