LPE PE2061S үшін SiC қапталған қолдау

VeTek Semiconductor - Қытайдағы LPE PE2061S үшін SiC қапталған қолдаудың жетекші өндірушісі және инноваторы. Біз көптеген жылдар бойы SiC жабын материалында мамандандық. Біз LPE кремний эпитаксистік реакторы үшін арнайы әзірленген LPE PE2061S үшін SiC қапталған қолдауды ұсынамыз. LPE PE2061S үшін бұл SiC қапталған тіреуіш баррель қабылдағыштың түбі болып табылады. Ол 1600 градус Цельсий жоғары температураға төтеп бере алады, графит қосалқы бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады. Бізге сұрау жіберуге қош келдіңіз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

LPE PE2061S үшін жоғары сапалы SiC қапталған қолдауды қытайлық VeTek Semiconductor өндірушісі ұсынады. LPE PE2061S үшін SiC қапталған қолдауды сатып алыңыз, ол төмен бағамен жоғары сапалы.

Кремний эпитаксистік жабдығындағы LPE PE2061S үшін VeTeK жартылай өткізгіш SiC қапталған тірегі, эпитаксиалды өсу процесі кезінде эпитаксиалды пластиналарды (немесе субстраттарды) қолдау және ұстау үшін бөшке түріндегі қабылдағышпен бірге қолданылады.

Төменгі пластина негізінен бөшкелік эпитаксиалды пешпен қолданылады, бөшке эпитаксиалды пеші жалпақ эпитаксиалды сезімталдыққа қарағанда үлкенірек реакция камерасына және жоғары өндірістік тиімділігіне ие.

Тіректің дөңгелек саңылау дизайны бар және ең алдымен реактор ішіндегі сорғышты шығару үшін пайдаланылады.

LPE PE2061S үшін VeTeK жартылай өткізгіш SiC қапталған тірегі жоғары тазалығы, біркелкі жабыны, жоғары температура тұрақтылығы, коррозияға төзімділігі, жоғары қаттылығы, тамаша жылу өткізгіштігі, төмен жылу кеңею коэффициенті және химиялық инерттілігі бар сұйық фазалық эпитаксистік (LPE) реактор жүйесіне арналған. .

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік	Типтік мән
Кристалл құрылымы	FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
Тығыздығы	3,21 г/см³
Қаттылық	2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі	2~10мкм
Химиялық тазалық	99,99995%
Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг-1·К-1
Сублимация температурасы	2700℃
Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік	300Вт·м-1·К-1
Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10-6К-1