VeTek Semiconductor – Қытайдағы LPE PE3061S 6 дюймдік пластиналар өндірушісі және жаңашылы. Біз көптеген жылдар бойы SiC жабыны бар материалға маманданғанбыз. Біз LPE PE3061S 6 дюймдік пластиналар үшін арнайы әзірленген SiC жабыны бар құймақ қабылдағышты ұсынамыз. . Бұл эпитаксиалды қабылдағыш жоғары коррозияға төзімділігі, жақсы жылу өткізгіштігі, жақсы біркелкілігімен ерекшеленеді. Біз сізді Қытайдағы фабрикамызға келуге қош келдіңіз.
Кәсіби өндіруші ретінде VeTek Semiconductor сізге LPE PE3061S 6 дюймдік пластиналар үшін жоғары сапалы SiC қапталған құймақ сорғышын ұсынбақ.
LPE PE3061S 6 дюймдік пластинкаларға арналған VeTeK Semiconductor SiC қапталған құймақ сорғышы жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде қолданылатын маңызды жабдық болып табылады.
Жоғары температура тұрақтылығы: SiC жоғары температуралық ортада құрылымы мен өнімділігін сақтай отырып, тамаша жоғары температура тұрақтылығын көрсетеді.
Керемет жылу өткізгіштік: SiC жылдам және біркелкі қыздыру үшін жылдам және біркелкі жылу беруді қамтамасыз ететін ерекше жылу өткізгіштікке ие.
Коррозияға төзімділік: SiC әртүрлі қыздыру орталарында коррозияға және тотығуға қарсы тұратын тамаша химиялық тұрақтылыққа ие.
Жылытудың біркелкі таралуы: SiC жабыны бар вафельді тасымалдаушы қыздыру кезінде пластинаның бетінде біркелкі температураны қамтамасыз ете отырып, біркелкі қыздыруды қамтамасыз етеді.
Жартылай өткізгішті өндіру үшін қолайлы: Si эпитаксистік пластинаны тасымалдаушы жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе Si эпитаксисінің өсуі және басқа да жоғары температуралық қыздыру процестері үшін кеңінен қолданылады.
Жақсартылған өндіріс тиімділігі: SiC қапталған құймақ қабылдағыш жылдам және біркелкі қыздыруға мүмкіндік береді, қыздыру уақытын азайтады және өндіріс тиімділігін арттырады.
Өнім сапасының қамтамасыз етілуі: біркелкі қыздыру бөлінуі вафельді өңдеу кезінде дәйектілікті қамтамасыз етеді, бұл өнім сапасын жақсартуға әкеледі.
Жабдықтың қызмет ету мерзімі ұзартылған: SiC материалы тамаша ыстыққа төзімділік пен химиялық тұрақтылықты ұсынады, бұл құймақ рецепторының қызмет ету мерзімін ұзартады.
Реттелетін шешімдер: SiC қапталған қабылдағыш, Si эпитаксиді пластинаны тұтынушы талаптары негізінде әртүрлі өлшемдер мен сипаттамаларға бейімдеуге болады.
CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері | |
Меншік | Типтік мән |
Кристалл құрылымы | FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған |
Тығыздығы | 3,21 г/см³ |
Қаттылық | 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме) |
Астық өлшемі | 2~10мкм |
Химиялық тазалық | 99,99995% |
Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Сублимация температурасы | 2700℃ |
Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
Жас модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
Жылу өткізгіштік | 300Вт·м-1·К-1 |
Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6К-1 |