TaC жабынының планеталық қабылдағыш

VeTek Semiconductor'TaC жабынының планеталық сіңіргіші Aixtron эпитаксистік жабдығына арналған ерекше өнім болып табылады. Берік TaC жабыны тамаша жоғары температураға төзімділік пен химиялық инерттілікті қамтамасыз етеді. Бұл бірегей комбинация, тіпті талап етілетін орталарда сенімді өнімділік пен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді. VeTek жоғары сапалы өнімдерді ұсынуға және бәсекеге қабілетті бағамен Қытай нарығында ұзақ мерзімді серіктес ретінде қызмет етуге ұмтылады.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгіштерді өндіру саласында TaC жабынының планеталық қабылдағышы шешуші рөл атқарады. Ол Aixtron G5 жүйесі сияқты жабдықта кремний карбидінің (SiC) эпитаксиалды қабаттарын өсіруде кеңінен қолданылады. Сонымен қатар, SiC эпитаксисі үшін тантал карбиді (TaC) жабынының тұндыруында сыртқы диск ретінде пайдаланылған кезде, TaC жабынының планеталық сіңіргіші маңызды қолдау мен тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Ол тантал карбиді қабатының біркелкі тұндырылуын қамтамасыз етеді, тамаша беттік морфологиясы және қалаған пленка қалыңдығы бар жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың пайда болуына ықпал етеді. TaC жабынының химиялық инерттілігі қажетсіз реакциялар мен ластануды болдырмайды, эпитаксиалды қабаттардың тұтастығын сақтайды және олардың жоғары сапасын қамтамасыз етеді.

TaC жабынының ерекше жылу өткізгіштігі тиімді жылу беруді қамтамасыз етеді, температураның біркелкі таралуын қамтамасыз етеді және эпитаксиалды өсу процесі кезінде жылу кернеуін азайтады. Бұл жақсартылған кристаллографиялық қасиеттері және жақсартылған электр өткізгіштігі бар жоғары сапалы SiC эпитаксиалды қабаттарын өндіруге әкеледі.

TaC Coating Planet Disk-тің нақты өлшемдері мен берік конструкциясы үздіксіз үйлесімділік пен тиімді жұмысты қамтамасыз ете отырып, бар жүйелерге біріктіруді жеңілдетеді. Оның сенімді өнімділігі мен жоғары сапалы TaC жабыны SiC эпитаксистік процестерінде дәйекті және біркелкі нәтижелерге ықпал етеді.

SiC эпитаксисіндегі ерекше өнімділік пен сенімділік үшін VeTek Semiconductor және TaC Coating Planetary Disk-ке сеніңіз. Сізді жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі технологиялық жетістіктердің алдыңғы қатарында орналастыратын инновациялық шешімдеріміздің артықшылықтарын сезініңіз.

TaC жабыны және SiC жабынының қосалқы бөлшектерін жеткіземіз:

TaC жабынының планеталық сенсорының өнім параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3 10-6/К
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10-5 Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)