TaC жабын плитасы

VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабын тақтасы - ерекше мүмкіндіктер мен артықшылықтарды ұсынатын тамаша өнім. Дәлдікпен жасалған және кемелділікке дейін жасалған, біздің TaC жабын пластина кремний карбидінің (SiC) монокристалды өсу процестерінде әртүрлі қолданбалар үшін арнайы әзірленген. TaC жабын пластинасының дәл өлшемдері мен берік конструкциясы бар жүйелерге біріктіруді жеңілдетеді және үздіксіз үйлесімділікті қамтамасыз етеді. және тиімді жұмыс. Оның сенімді өнімділігі мен жоғары сапалы жабыны SiC кристалын өсіру қолданбаларында дәйекті және біркелкі нәтижелерге ықпал етеді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Сіз біздің зауыттан TaC жабын пластинасын сатып алатыныңызға сенімді бола аласыз. Біздің TaC жабын тақтайшамыз жартылай өткізгіш эпитаксистік реактордың негізгі бөлігі ретінде жұмыс істейді, бұл эпитаксиалды қабаттың өнімділігі мен өсу тиімділігін қамтамасыз етеді. Өнім сапасын жақсарту.

Металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) арқылы үшінші негізгі топтағы нитридті эпитаксиалды парақты (GaN) дайындау және химиялық бу арқылы SiC эпитаксиалды өсу қабықшаларын дайындау сияқты неғұрлым қатаң және қатаңырақ дайындық орталары бар жаңа жартылай өткізгіштерді өндіру үшін тұндыру (CVD) жоғары температуралы орталарда H2 және NH3 сияқты газдармен эрозияға ұшырайды. Қолданыстағы өсу тасымалдағыштарының немесе газ арналарының бетіндегі SiC және BN қорғаныс қабаттары олардың химиялық реакцияларға қатысуына байланысты істен шығуы мүмкін, бұл кристалдар мен жартылай өткізгіштер сияқты өнімдердің сапасына теріс әсер етеді. Сондықтан кристалдардың, жартылай өткізгіштердің және басқа өнімдердің сапасын жақсарту үшін қорғаныс қабаты ретінде жақсырақ химиялық тұрақтылық пен коррозияға төзімді материалды табу қажет. Тантал карбиді тамаша физикалық және химиялық қасиеттерге ие, өйткені күшті химиялық байланыстардың рөлі, оның жоғары температурадағы химиялық тұрақтылығы және коррозияға төзімділігі SiC, BN және т. .

VeTek Semiconductor озық өндірістік жабдыққа және мінсіз сапаны басқару жүйесіне, өнімділік консистенциясы партияларындағы TaC жабынын қамтамасыз ету үшін қатаң технологиялық бақылауға ие, компания тұтынушылардың үлкен көлемдегі жеткізілімдердегі қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін кең ауқымды өндірістік қуаттылыққа ие, мінсіз сапаны бақылау. әрбір өнімнің сапасын тұрақты және сенімді қамтамасыз ету механизмі.

TaC жабын тақтасының өнім параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3 10-6/К
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10-5 Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)