TaC жабынының айналмалы тақтасы

VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының айналмалы тақтасы тамаша TaC жабынымен мақтана алады, TaC жабынының айналмалы пластинасының ерекше TaC жабыны бар, оны дәстүрлі шешімдерден ерекшелендіретін керемет жоғары температураға төзімділігі және химиялық инерттілігі бар. Біз бәсекеге қабілетті сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз. бағалар мен Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының айналмалы пластинасының жоғары тазалық құрамы, қоспа мөлшері 5 ppm-ден аз және тығыз және біркелкі құрылым бар, ол LPE EPI жүйелерінде, Aixtron жүйелерінде, Nuflare жүйелерінде, TEL CVD жүйелерінде, VEECO жүйелерінде, TSI-де кеңінен қолданылады. жүйелер.

Тамаша механикалық қасиеттер:

Қаптаманың қаттылығы 2300HV дейін, тамаша тозуға төзімді.

Қаптама мен субстрат арасындағы адгезия күшті, құлап кету немесе қабығын алу оңай емес.

Жабын жоғары температурада жақсы құрылымдық тұрақтылықты сақтай алады.

Тамаша коррозияға төзімділік:

TaC материалының өзі тамаша химиялық тұрақтылыққа және коррозияға төзімділікке ие.

VeTek жартылай өткізгіш жабындары әртүрлі агрессивті газ орталарында жақсы жұмыс істейді.

Жабдықтың ішкі бөліктерін коррозиядан зақымданудан тиімді қорғай алады.

Жоғары бетті өңдеу:

VeTek жартылай өткізгіші қалаған әрлеуді алу үшін дәл жабу процесін пайдаланады.

Төмен беттің кедір-бұдырлығы бөлшектердің жиналуын және тұнбасын азайтуға көмектеседі.

Coating consistency is good:

VeTek Semiconductor-да партиялар арасындағы тұрақты өнімділікті қамтамасыз ету үшін дыбыс сапасын бақылау жүйесі бар.

Қаптаманың қалыңдығы біркелкі бөлінген және айқын жергілікті ақаулар жоқ.

Тамаша практикалық қолдану өнімділігі:

VeTek жартылай өткізгішінің TaC жабыны үйде және шетелде көптеген танымал эпитаксиалды жабдық өндірушілерінде кеңінен қолданылады.

TaC қапталған айналмалы пластинаның өнім параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3 10-6/К
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10-5 Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)