TaC жабынының сенсоры

VeTek Semiconductor TaC жабу қабылдағышын ұсынады. Ерекше TaC жабыны бар бұл қабылдағыш оны кәдімгі шешімдерден ерекшелендіретін көптеген артықшылықтарды ұсынады. Қолданыстағы жүйелерге үздіксіз интеграцияланған VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабу қабылдағыштары үйлесімділік пен тиімді жұмыс істеуге кепілдік береді. Оның сенімді өнімділігі мен жоғары сапалы TaC жабыны SiC эпитаксистік процестерінде дәйекті түрде ерекше нәтиже береді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek Semiconductor компаниясының TaC қапталған сенсоры мен сақинасы LPE кремний карбиді эпитаксиалды өсу реакторында бірге жұмыс істейді:

Жоғары температураға төзімділік: TaC жабынының сенсоры LPE реакторындағы 1500°C-қа дейінгі төтенше температураларға төтеп бере алатын тамаша жоғары температураға төзімділікке ие. Бұл жабдық пен құрамдас бөліктердің ұзақ мерзімді жұмыс кезінде деформацияланбауын немесе зақымданбауын қамтамасыз етеді.

Химиялық тұрақтылық: TaC жабынының сенсоры коррозиялық кремний карбидінің өсу ортасында өте жақсы жұмыс істейді, реактор компоненттерін коррозиялық химиялық шабуылдан тиімді қорғайды, осылайша олардың қызмет ету мерзімін ұзартады.

Термиялық тұрақтылық: TaC жабынының сенсоры жақсы термиялық тұрақтылыққа ие, реактордағы температура өрісінің біркелкілігін қамтамасыз ету үшін бетінің морфологиясы мен кедір-бұдырлығын сақтайды, бұл кремний карбидінің эпитаксиалды қабаттарының жоғары сапалы өсуі үшін пайдалы.

Ластануға қарсы: тегіс TaC қапталған беті және жоғары TPD (температуралық бағдарламаланған десорбция) өнімділігі реактор ішіндегі бөлшектер мен қоспалардың жиналуын және адсорбциясын азайтып, эпитаксиалды қабаттардың ластануын болдырмайды.

Қорытындылай келе, TaC қапталған сенсоры мен сақинасы LPE кремний карбиді эпитаксиалды өсу реакторында маңызды қорғаныс рөлін атқарады, жабдықтың ұзақ мерзімді тұрақты жұмысын және эпитаксиалды қабаттардың жоғары сапалы өсуін қамтамасыз етеді.

Product parameter of the TaC Coating Susceptor:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3 10-6/К
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10-5 Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)