Тантал карбидімен қапталған патрон

VeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші тантал карбидімен қапталған патрон өндірушісі және инноваторы. Біз көптеген жылдар бойы TaC жабынымен мамандандырылған. Біздің өнімдеріміз 2000 ℃ дейін жоғары тазалық пен жоғары температураға төзімділікке ие. Біз сіздің ұзақ мерзімді жұмысыңыз болуды асыға күтеміз. Қытайдағы серіктес.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek жартылай өткізгіші жоғары сапалы тантал карбидімен қапталған патронды, SiC жабын бөліктерін бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етеді. Бізге сұрауға қош келдіңіз. VeTek жартылай өткізгіші AIXTRON G10 MOCVD жүйесі үшін арнайы әзірленген тантал карбиді қапталған патрон. Бұл аксессуар тамаша өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз ете отырып, жартылай өткізгіштерді өндірудегі тиімділік пен сапаны арттырады.

Жоғары сапалы материалдардан жасалған және дәлдікпен жасалған патрон CVD тантал карбидімен (TaC) қапталған графит субстратына ие. Бұл жабын тамаша термиялық тұрақтылықты, жоғары тазалықты және жоғары температураға төзімділікті қамтамасыз етеді. Ол MOCVD процестерінің күрделі жағдайында сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді.

Патрон әртүрлі жартылай өткізгішті вафли өлшемдерін орналастыру үшін теңшеуге болады, бұл оны әртүрлі өндіріс талаптарына сәйкес етеді. Оның берік конструкциясы вафельді тасымалдағыштар мен қабылдағыштармен байланысты тоқтау уақытын және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.

VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді қапталған патронмен AIXTRON G10 MOCVD жүйесі жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары тиімділік пен жоғары нәтижелерге қол жеткізеді. Оның ерекше термиялық тұрақтылығы, әртүрлі вафли өлшемдерімен үйлесімділігі және сенімді өнімділігі оны өндіріс тиімділігін оңтайландыру және қиын MOCVD ортасында тамаша нәтижелерге қол жеткізу үшін маңызды құрал етеді.

Тантал карбидімен қапталған патронның өнім параметрі

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3 10-6/К
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10-5 Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)