Тантал карбидімен қапталған сақина

VeTek жартылай өткізгішті тантал карбидімен қапталған сақина мынадан жасалғанграфитжәне тантал карбидімен қапталған, бұл комбинация жоғары өнімділік пен ұзақ мерзімділікті қамтамасыз ету үшін екі материалдың да ең жақсы қасиеттерін қолданады. 

Тантал карбиді жабын сақинасындағы TaC жабыны оның сутегі, аргон және азот сияқты газдарды жиі қамтитын SiC кристалды өсіретін пештердің реактивті атмосфераларында химиялық инертті болып қалуын қамтамасыз етеді. Бұл химиялық инерттілік ақауларға және соңғы жартылай өткізгіш өнімдердің өнімділігін төмендетуге әкелуі мүмкін өсіп келе жатқан кристалдың кез келген ластануын болдырмау үшін өте маңызды. Сонымен қатар, TaC жабыны қамтамасыз ететін термиялық тұрақтылық тантал карбиді жабын сақинасына SiC кристалының өсуі үшін қажет, әдетте 2000°C-тан асатын жоғары температураларда тиімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді.

TaC механикалық қасиеттері тантал карбиді қаптама сақинасының тозуын айтарлықтай азайтады. Бұл бағыттаушы сақинаны жиі термиялық циклдар мен механикалық кернеулерге ұшырататын кристалдық өсу процесінің қайталанатын сипатына байланысты өте маңызды. TaC қаттылығы мен тозуға төзімділігі TaC қапталған сақинаның ұзақ уақыт бойы құрылымдық тұтастығын және нақты өлшемдерін сақтап тұруын қамтамасыз етеді, жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады және өндіріс процесінде тоқтау уақытын азайтады. 

Сонымен қатар, тантал карбидті жабу сақинасындағы графит пен TaC комбинациясы кристалды өсіретін пештегі жылуды басқаруды оңтайландырады. Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі жылуды тиімді таратады, ыстық нүктелерді болдырмайды және кристалдардың біркелкі өсуіне ықпал етеді. Сонымен қатар, TaC жабыны графит өзегін жоғары температура мен реактивті газдардың тікелей әсерінен қорғайтын термиялық тосқауыл ретінде қызмет етеді. Өзек пен жабын материалдары арасындағы бұл синергия тек қатты жағдайларға төтеп беріп қана қоймайтын бағыттаушы сақинаға әкеледі.SiC кристалының өсуісонымен қатар процестің жалпы тиімділігі мен сапасын арттырады.

VeTek жартылай өткізгішті тантал карбидімен қапталған сақинасы жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі маңызды құрамдас бөлігі болып табылады, ол жартылай өткізгіштердің өсуі үшін арнайы әзірленген.Кремний карбиді кристалдары. Оның дизайны графит пен тантал карбидінің күшті жақтарын пайдаланады, бұл жоғары температурада, жоғары кернеулі орталарда ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді. TaC жабыны химиялық инерттілікті, механикалық төзімділікті және термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, олардың барлығы жоғары сапалы SiC кристалдарын алу үшін өте маңызды. Төтенше жағдайларда өзінің тұтастығы мен функционалдығын сақтай отырып, сақина SiC кристалдарының тиімді және ақаусыз өсуін қолдайды, бұл жоғары қуатты және жоғары жиілікті жартылай өткізгіш құрылғылардың дамуына ықпал етеді.

VeTek Semiconductor жетекші өндіруші және жеткізуші болып табыладыТантал карбиді жабыны, Кремний карбиді жабыныжәнеАрнайы графитҚытайда. Біз ұзақ уақыт бойы жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуды міндеттеміз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуға шын жүректен үміттенеміз.

Тантал карбиді (TaC) жабынымикроскопиялық көлденең қимада：

шолужартылай өткізгіш микросхема эпитаксисінің өнеркәсіп тізбегі：