Тантал карбиді бағыттаушы сақина

VeTek Semiconductor - Қытайдағы Tantalum Carbide Guide Ring өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. Біздің тантал карбиді (TaC) бағыттаушы сақинасы - бұл тантал карбидінен жасалған жоғары өнімді сақина құрамдас бөлігі, ол әдетте жартылай өткізгіштерді өңдеу жабдықтарында, әсіресе CVD, PVD, ою және диффузия сияқты жоғары температурада және жоғары коррозиялық орталарда қолданылады. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады және сіздің қосымша сұрауларыңызды құптайды.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek жартылай өткізгішТантал карбиді бағыттаушы Ring-ден жасалғанграфитжәнетантал карбидімен қапталған, жоғары өнімділік пен ұзақ мерзімділікті қамтамасыз ету үшін екі материалдың да ең жақсы қасиеттерін пайдаланатын комбинация.

TheTaC жабыныТантал карбидінің бағыттаушы сақинасы оның сутегі, аргон және азот сияқты газдарды жиі қамтитын SiC кристалды өсіретін пештердің реактивті атмосфераларында химиялық инертті болып қалуын қамтамасыз етеді. Бұл химиялық инерттілік ақауларға және соңғы жартылай өткізгіш өнімдердің өнімділігін төмендетуге әкелуі мүмкін өсіп келе жатқан кристалдың кез келген ластануын болдырмау үшін өте маңызды. Сонымен қатар, TaC жабыны қамтамасыз ететін термиялық тұрақтылық тантал карбиді жабынының бағыттаушы сақинасына қажетті жоғары температурада тиімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді.SiC кристалының өсуі, әдетте 2000°C асады.

Сонымен қатар, тантал карбидті жабу сақинасындағы графит пен TaC комбинациясы кристалды өсіретін пештегі жылуды басқаруды оңтайландырады. Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі жылуды тиімді таратады, ыстық нүктелерді болдырмайды және кристалдардың біркелкі өсуіне ықпал етеді. Сонымен қатар, тантал карбиді жабыны графит өзегін жоғары температура мен реактивті газдардың тікелей әсерінен қорғайтын термиялық тосқауыл ретінде қызмет етеді. Өзек пен жабын материалдары арасындағы бұл синергия SiC кристалының өсуінің қатал шарттарына төтеп беріп қана қоймай, сонымен қатар процестің жалпы тиімділігі мен сапасын арттыратын бағыттаушы сақинаға әкеледі.

VeTek жартылай өткізгіш тантал карбидінің механикалық қасиеттері тантал карбиді қаптама сақинасының тозуын айтарлықтай азайтады. Бұл қайталанатын табиғатқа байланысты өте маңыздыкристалдардың өсу процесі, бұл бағыттаушы сақинаны жиі термиялық циклдарға және механикалық кернеулерге ұшыратады. Тантал карбидінің қаттылығы мен тозуға төзімділігі бағыттаушы сақинаның ұзақ уақыт бойы құрылымдық тұтастығын және нақты өлшемдерін сақтап тұруын қамтамасыз етеді, жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады және өндіріс процесінде тоқтау уақытын азайтады.

VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының бағыттаушы сақинасы жартылай өткізгіш өнеркәсібінің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады, ол жартылай өткізгіштердің өсуі үшін арнайы әзірленген.Кремний карбиді кристалдары. Оның дизайны графит пен тантал карбидінің күшті жақтарын пайдаланады, бұл жоғары температурада, жоғары кернеулі орталарда ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді. TaC жабыны химиялық инерттілікті, механикалық төзімділікті және термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, олардың барлығы жоғары сапалы SiC кристалдарын алу үшін өте маңызды. Төтенше жағдайларда өзінің тұтастығы мен функционалдығын сақтай отырып, бағыттаушы сақина SiC кристалдарының тиімді және ақаусыз өсуін қолдайды, бұл жоғары қуатты және жоғары жиілікті жартылай өткізгіш құрылғылардың дамуына үлес қосады.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбиді (TaC) жабыны:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

TaC жабынының физикалық қасиеттері:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6,3*10^-6/Қ
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10^-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)