SiC epi акцепторындағы GaN

Кәсіби маман ретіндежартылай өткізгіш өндірушіҚытайда,VeTek жартылай өткізгіш SiC epi акцепторындағы GaNдайындау процесінің негізгі құрамдас бөлігі болып табыладыSiC бойынша GaNқұрылғылар, ал оның өнімділігі эпитаксиальды қабаттың сапасына тікелей әсер етеді. Күштік электроникада, РЖ құрылғыларында және басқа салаларда SiC құрылғыларында GaN кеңінен қолданылуына байланысты талаптарSiC эпи қабылдағышбарған сайын жоғары болады. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін соңғы технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға бағытталған және сіздің кеңестеріңізді құптайды.

Жалпы, рөліSiC epi акцепторындағы GaNжартылай өткізгішті өңдеуде келесідей:

Жоғары температурада өңдеу мүмкіндігі: SiC epi сенсорындағы GaN (кремний карбиді эпитаксиалды өсу дискіне негізделген GaN) негізінен галий нитриді (GaN) эпитаксиалды өсу процесінде, әсіресе жоғары температуралы орталарда қолданылады. Бұл эпитаксиалды өсу дискісі әдетте 1000°C және 1500°C аралығындағы өте жоғары өңдеу температураларына төтеп бере алады, бұл оны GaN материалдарының эпитаксиалды өсуіне және кремний карбиді (SiC) субстраттарын өңдеуге қолайлы етеді.

Тамаша жылу өткізгіштік: Өсу процесі кезінде температураның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін қыздыру көзінен пайда болатын жылуды SiC субстратына біркелкі беру үшін SiC epi сенсорының жақсы жылу өткізгіштігі болуы керек. Кремний карбидінің өте жоғары жылу өткізгіштігі бар (шамамен 120-150 Вт/мК) және SiC epi сенсорындағы GaN кремний сияқты дәстүрлі материалдарға қарағанда жылуды тиімдірек өткізе алады. Бұл мүмкіндік галлий нитриді эпитаксиалды өсу процесінде өте маңызды, себебі ол субстраттың температуралық біркелкілігін сақтауға көмектеседі, осылайша пленка сапасы мен консистенциясын жақсартады.

Ластанудың алдын алу: SiC epi сенсорындағы GaN материалдары мен бетін өңдеу процесі өсу ортасының ластануын болдырмауға және эпитаксиалды қабатқа қоспалардың түсуін болдырмауға қабілетті болуы керек.

Кәсіби өндіруші ретіндеSiC epi акцепторындағы GaN, Кеуекті графитжәнеTaC жабын плитасыҚытайда VeTek Semiconductor әрқашан теңшелген өнім қызметтерін ұсынуды талап етеді және саланы үздік технологиялармен және өнім шешімдерімен қамтамасыз етуге ұмтылады. Біз сіздердің кеңестеріңіз бен ынтымақтастықтарыңызды шын жүректен күтеміз.

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

SiC epi сусцепторларды өндіру цехтарында GaN:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу：