Көлденең SiC пластинасы

VeTek жартылай өткізгіштерКөлденең SiC пластинасы/Қайық өте жоғары балқу температурасына ие (шамамен 2700°C), бұл мүмкіндік бередіКөлденең SiC пластинасы/Қатер деформациясыз немесе деградациясыз жоғары температуралы ортада тұрақты жұмыс істеуге арналған. Бұл мүмкіндік әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде, әсіресе жоғары температурада күйдіру немесе химиялық буларды тұндыру (CVD) сияқты процестерде маңызды.

TheКөлденең SiC пластинасы/Қайық вафельді тасымалдағыштарды тасымалдау процесінде арнайы келесі рөлдерді атқарады:

Кремний пластинасын тасымалдау және тіреу: Көлденең SiC вафли қайығы негізінен жартылай өткізгішті өндіру кезінде кремний пластинкаларын тасымалдау және қолдау үшін пайдаланылады. Ол бірнеше кремний пластинкаларын біріктіріп, олардың бүкіл өңдеу процесінде жақсы күйде және тұрақтылықта қалуын қамтамасыз ете алады.

Біркелкі жылыту және салқындату: SiC жоғары жылу өткізгіштігінің арқасында вафли қайық барлық кремний пластинкаларына жылуды тиімді түрде тарата алады. Бұл жоғары температурада өңдеу кезінде кремний пластинкаларын біркелкі қыздыруға немесе салқындатуға қол жеткізуге көмектеседі, өңдеу процесінің дәйектілігі мен сенімділігін қамтамасыз етеді.

Ластанудың алдын алу: SiC химиялық тұрақтылығы оның жоғары температурада және коррозиялық газ орталарында жақсы жұмыс істеуіне мүмкіндік береді, осылайша кремний пластинкаларының ықтимал ластаушы заттардың немесе реактивтердің әсерін азайтады, кремний пластинкаларының тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді.

Шын мәнінде, көлденең SiC вафельді қайық өзінің бірегей өнім сипаттамаларына байланысты жоғарыда аталған рөлді атқара алады:

Тамаша химиялық тұрақтылық: SiC материалы әртүрлі химиялық орталарға тамаша коррозияға төзімді. Коррозиялық газдарды немесе сұйықтықтарды өңдеу процесінде SiC Wafer Boat химиялық коррозияға тиімді қарсы тұра алады және кремний пластинкаларын ластанудан немесе зақымданудан қорғай алады.

Жоғары жылу өткізгіштік: SiC жоғары жылу өткізгіштігі жылуды тасымалдау процесінде біркелкі бөлуге және жылу жинақталуын азайтуға көмектеседі. Бұл дәл өңдеу кезінде температураны бақылаудың дәлдігін жақсартады және кремний пластинкаларын біркелкі қыздыруды немесе салқындатуды қамтамасыз етеді.

Төмен термиялық кеңею коэффициенті: SiC материалының төмен жылулық кеңею коэффициенті температураның өзгеруі кезінде SiC Wafer Boat өлшемдік өзгерісінің өте аз екенін білдіреді. Бұл жоғары температурада өңдеу кезінде өлшемдік тұрақтылықты сақтауға көмектеседі және термиялық кеңеюден туындаған кремний пластинкаларының деформациясын немесе позициялық жылжуын болдырмайды.

Горизонтальды SiC пластинаның негізгі физикалық қасиеттері:

VeTek жартылай өткізгіштер өндірісі цехы:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік тізбегіне шолу: