Кремний карбидті вафельді патрон

VeTek Semiconductor кремний карбиді пластинкалары жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін кремний карбиді материалдарының тамаша қасиеттерін пайдаланады, әсіресе өте жоғары дәлдік пен сенімділікті қажет ететін жартылай өткізгіштерді өңдеуде.

Жартылай өткізгішті өңдеу процесінде,Кремний карбидітамаша жоғары температураға төзімді (1400°C дейін тұрақты жұмыс істей алады), төмен өткізгіштікке ие (SiC салыстырмалы түрде төмен өткізгіштікке ие, әдетте 10^^-3S/m) және төмен термиялық кеңею коэффициенті (шамамен 4,0 × 10^).^-6/°C), бұл таптырмас және маңызды материал болып табылады, әсіресе кремний карбиді вафельді патронды өндіруге жарамды.

кезіндеэпитаксиалды өсу процесі, жартылай өткізгіш материалдың жұқа қабаты субстратқа қойылады, біркелкі және жоғары сапалы пленка тұндыру қабаттарын қамтамасыз ету үшін пластинаның абсолютті тұрақтылығын талап етеді. SiC вакуумдық патрон пластинаның кез келген қозғалысын немесе деформациясын болдырмау үшін қатты, дәйекті вакуумды ұстауды жасау арқылы қол жеткізеді.

Кремний карбидті вафли патроны сонымен қатар термиялық соққыға тамаша төзімділік береді. Температураның жылдам өзгеруі жартылай өткізгіш өндірісінде жиі кездеседі және бұл ауытқуларға төтеп бере алмайтын материалдар жарылып, майысып немесе істен шығуы мүмкін. Кремний карбидінің жылу кеңеюінің төмен коэффициенті бар және оның пішіні мен қызметін температураның күрт өзгеруі кезінде де сақтай алады, бұл пластинаның эпитаксистік процесс кезінде қозғалусыз немесе тураланусыз қауіпсіз болып қалуын қамтамасыз етеді.

Оның үстіне,эпитаксистік процессжиі реактивті газдарды және басқа коррозиялық химиялық заттарды қамтиды. SiC Wafer Chuck-тың химиялық инерттілігі оның осы қатал орталардың әсеріне ұшырамауын, өнімділігін сақтай отырып және қызмет ету мерзімін ұзартуды қамтамасыз етеді. Бұл химиялық төзімділік пластинаны ауыстыру жиілігін азайтып қана қоймайды, сонымен қатар жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің жалпы тиімділігі мен үнемділігін арттыруға көмектесе отырып, бірнеше өндірістік циклдардағы өнімнің тұрақты өнімділігін қамтамасыз етеді.

VeTek Semiconductor - Қытайдағы кремний карбиді вафли патрон өнімдерінің жетекші өндірушісі және жеткізушісі. сияқты Чак өнімдерінің әртүрлі түрлерін ұсына аламызКеуекті SiC керамикалық патрон, Кеуекті SiC вакуумдық патрон, Кеуекті керамикалық вакуумдық патронжәнеTaC қапталған патрон, т.б. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

SEM DATA OF CVDSIC ФИЛЬМІНІҢ КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ：

VeTek жартылай өткізгіш кремний карбидті пластиналар цехтары：