CVD TAC жабыны дегеніміз не?

Бәрімізге белгілі,TaC3880°С дейін балқу температурасы, жоғары механикалық беріктігі, қаттылығы, термиялық соққыға төзімділігі бар; жоғары температурада аммиак, сутегі, кремнийі бар буға жақсы химиялық инерттілік және термиялық тұрақтылық.

CVD TAC жабыны, химиялық булардың тұндыру (CVD).тантал карбиді (TaC) жабыны, субстратта (әдетте графит) жоғары тығыздықты және ұзаққа созылатын жабынды қалыптастыру процесі. Бұл әдіс TaC жоғары температурада субстрат бетіне түсіруді қамтиды, нәтижесінде тамаша термиялық тұрақтылық пен химиялық төзімділік бар жабын пайда болады.

CVD TaC жабындарының негізгі артықшылықтарына мыналар жатады:

Өте жоғары термиялық тұрақтылық: 2200°C жоғары температураға төтеп бере алады.

Химиялық төзімділік: сутегі, аммиак және кремний буы сияқты қатты химиялық заттарға тиімді қарсы тұра алады.

Күшті адгезия: қабатсыз ұзақ қорғанысты қамтамасыз етеді.

Жоғары тазалық: қоспаларды азайтады, бұл оны жартылай өткізгішті қолдану үшін өте қолайлы етеді.

Бұл жабындар, әсіресе, жартылай өткізгіштерді өндіру және жоғары температуралы өндірістік процестер сияқты жоғары беріктікті және экстремалды жағдайларға төзімділікті қажет ететін орталар үшін қолайлы.

Өнеркәсіптік өндірісте TaC жабынымен қапталған графит (көміртекті-көміртекті композициялық) материалдар дәстүрлі жоғары таза графитті, pBN жабындысын, SiC жабын бөліктерін және т.б. ауыстыруы өте ықтимал. Сонымен қатар, аэроғарыш саласында TaC үлкен әлеуетке ие. жоғары температурада тотығуға және абляцияға қарсы жабын ретінде пайдаланылады және кең қолдану перспективалары бар. Дегенмен, графиттің бетіне тығыз, біркелкі, қабыршақтанбайтын TaC жабындарын дайындауға және өнеркәсіптік жаппай өндірісті ынталандыруға жету үшін әлі де көптеген қиындықтар бар.

Бұл процесте жабынның қорғаныс механизмін зерттеу, өндіріс процесін жаңалау және шетелдік жоғары деңгеймен бәсекелесу үшінші буын жартылай өткізгіш кристалының өсуі мен эпитаксиясы үшін өте маңызды.