CVD TaC жабын тасымалдаушысы

VeTek Semiconductor - бұл Қытайдың CVD TaC жабынының тасымалдаушысы, EPITAXY SUSCEPTOR, TaC қапталған графитті сіңіргіш өндірушісі.

Үздіксіз процесс және материалды инновациялық зерттеулер арқылы Vetek Semiconductor CVD TaC жабын тасымалдаушысы эпитаксиалды процесте өте маңызды рөл атқарады, негізінен келесі аспектілерді қамтиды:

Субстратты қорғау: CVD TaC жабын тасымалдаушысы тамаша химиялық тұрақтылық пен термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, жоғары температура мен коррозиялық газдардың субстрат пен реактордың ішкі қабырғасын эрозиядан тиімді түрде алдын алады, технологиялық ортаның тазалығы мен тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

Жылу біркелкілігі: CVD TaC жабын тасымалдаушысының жоғары жылу өткізгіштігімен үйлескенде, ол реактор ішінде температураның таралуының біркелкілігін қамтамасыз етеді, эпитаксиалды қабаттың кристалдық сапасы мен қалыңдығының біркелкілігін оңтайландырады және соңғы өнімнің өнімділік консистенциясын арттырады.

Бөлшектердің ластануын бақылау: CVD TaC жабыны бар тасымалдаушылардың бөлшектердің түзілу жылдамдығы өте төмен болғандықтан, тегіс бет қасиеттері бөлшектердің ластану қаупін айтарлықтай төмендетеді, осылайша эпитаксиалды өсу кезінде тазалық пен өнімділікті жақсартады.

Жабдықтың қызмет ету мерзімі ұзартылған: CVD TaC жабын тасымалдағышының тамаша тозуға төзімділігімен және коррозияға төзімділігімен үйлескенде, ол реакция камерасының құрамдас бөліктерінің қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады, жабдықтың тоқтап қалуы мен техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады және өндіріс тиімділігін арттырады.

Жоғарыда аталған сипаттамаларды біріктіре отырып, VeTek Semiconductor компаниясының CVD TaC жабын тасымалдаушысы эпитаксиалды өсу процесінде процестің сенімділігін және өнімнің сапасын арттырып қана қоймайды, сонымен қатар жартылай өткізгіштерді өндіру үшін үнемді шешімді ұсынады.

CVD TaC жабын тасымалдаушысының физикалық қасиеттері:

CVD SiC жабындарын өндіру цехы:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: