TaC жабу дегеніміз не?

TaC жабыны (тантал карбиді жабыны) – химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы өндірілетін жоғары өнімді жабын материалы. Төтенше жағдайларда TaC жабынының тамаша қасиеттеріне байланысты ол жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде, әсіресе жоғары температура мен күшті коррозиялық ортаны қажет ететін жабдықтар мен компоненттерде кеңінен қолданылады. TaC жабыны әдетте астарларды (мысалы, графит немесе керамика) жоғары температура, коррозиялық газдар және механикалық тозу әсерінен зақымданудан қорғау үшін қолданылады.

Өнімнің ерекшеліктері мен артықшылықтары

Өте жоғары термиялық тұрақтылық:

Ерекшелік сипаттамасы: TaC жабынының балқу температурасы 3880°C жоғары және өте жоғары температуралық ортада ыдырау немесе деформациясыз тұрақтылықты сақтай алады.

Артықшылығы: Бұл оны CVD TaC Coating және TaC Coated Susceptor сияқты жоғары температуралы жартылай өткізгіш жабдықтарда, әсіресе Aixtron G5 жабдығы сияқты MOCVD реакторларында қолдану үшін таптырмас материал етеді.

Тамаша коррозияға төзімділік:

Мүмкіндік сипаттамасы: TaC өте күшті химиялық инерттілікке ие және хлоридтер мен фторидтер сияқты коррозиялық газдардың эрозиясына тиімді қарсы тұра алады.

Артықшылықтары: Жоғары коррозияға ұшырайтын химиялық заттарды қамтитын жартылай өткізгіш процестерде TaC Coating жабдық құрамдастарын химиялық шабуылдан қорғайды, қызмет ету мерзімін ұзартады және процестің тұрақтылығын жақсартады, әсіресе кремний карбиді вафли қайығын және басқа негізгі компоненттерді қолдану кезінде.

Тамаша механикалық қаттылық:

Ерекшелік сипаттамасы: TaC жабынының қаттылығы 9-10 Мох-қа дейін жоғары, бұл оны механикалық тозуға және жоғары температура кернеуіне төзімді етеді.

Артықшылығы: жоғары қаттылық қасиеті TaC Coating-ті қатты тозу және жоғары кернеулі орталарда пайдалану үшін әсіресе қолайлы етеді, бұл қиын жағдайларда жабдықтың ұзақ мерзімді тұрақтылығы мен сенімділігін қамтамасыз етеді.

Төмен химиялық реакция:

Мүмкіндік сипаттамасы: Химиялық инерттілігінің арқасында TaC Coating жоғары температуралық ортада төмен реактивтілікті сақтай алады және реактивті газдармен қажетсіз химиялық реакцияларды болдырмайды.

Артықшылығы: Бұл әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде маңызды, себебі ол технологиялық ортаның тазалығын және материалдардың жоғары сапалы тұндырылуын қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгішті өңдеудегі TaC Coating рөлі

Жабдықтың негізгі компоненттерін қорғау:

Функцияның сипаттамасы: TaC жабыны жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының негізгі құрамдас бөліктерінде кеңінен қолданылады, мысалы, экстремалды жағдайларда жұмыс істеуді қажет ететін TaC Coated Susceptor. TaC жабу арқылы бұл компоненттер ұзақ уақыт бойы жоғары температурада және коррозиялық газ ортасында зақымданбай жұмыс істей алады.

Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту:

Функция сипаттамасы: Aixtron G5, TaC Coating сияқты MOCVD жабдығында жабдық құрамдас бөліктерінің беріктігін айтарлықтай жақсарта алады және коррозия мен тозуға байланысты жабдыққа техникалық қызмет көрсету және ауыстыру қажеттілігін азайтады.

Процестің тұрақтылығын арттыру:

Функция сипаттамасы: Жартылай өткізгішті өндіруде TaC Coating тұрақты жоғары температура мен химиялық ортаны қамтамасыз ету арқылы тұндыру процесінің біркелкілігі мен дәйектілігін қамтамасыз етеді. Бұл кремний эпитаксиясы және галлий нитриді (GaN) сияқты эпитаксиалды өсу процестерінде әсіресе маңызды.

Процестің тиімділігін арттыру:

Функцияның сипаттамасы: Жабдықтың бетіндегі жабынды оңтайландыру арқылы TaC Coating процестің жалпы тиімділігін жақсарта алады, ақауларды азайтады және өнім шығымын арттырады. Бұл жоғары дәлдіктегі, жоғары таза жартылай өткізгіш материалдарды өндіру үшін өте маңызды.

Жартылай өткізгішті өңдеу кезінде TaC Coating көрсететін жоғары термиялық тұрақтылық, тамаша коррозияға төзімділік, механикалық қаттылық және төмен химиялық реактивтілік оны жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының құрамдас бөліктерін қорғау үшін тамаша таңдау жасайды. Жартылай өткізгіш өнеркәсібінің жоғары температураға, жоғары тазалыққа және тиімді өндірістік процестерге сұранысы артып келе жатқандықтан, TaC Coating әсіресе CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor және Aixtron G5 қатысатын жабдықтар мен процестерде кең қолдану перспективаларына ие.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін озық жабын материалдарының жетекші жеткізушісі болып табылады. біздің компания сала үшін озық шешімдерді әзірлеуге бағытталған.

Біздің негізгі өнім ұсыныстарына CVD кремний карбиді (SiC) жабындары, тантал карбиді (TaC) жабындары, көлемді SiC, SiC ұнтақтары және жоғары таза SiC материалдары, SiC қапталған графит қабылдағыш, алдын ала қыздыру сақиналары, TaC қапталған бұру сақинасы, жарты ай бөліктері және т.б. ., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.

VeTek жартылай өткізгіші жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнімді әзірлеу шешімдерін әзірлеуге бағытталған.Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.