TaC жабынының қосалқы бөлігі

VeTek Semiconductor - Қытайдағы TaC Coating Plate және басқа TaC Coating қосалқы бөлшектерінің кәсіби өндірушісі. Қазіргі уақытта TaC жабыны негізінен кремний карбидінің монокристалының өсуі (PVT әдісі), эпитаксиалды диск (соның ішінде кремний карбиді эпитаксисі, жарықдиодты эпитаксиясы) сияқты процестерде қолданылады. Coating Plate TaC Coating қосалқы бөлшектерінің эталоны болды. Сізді біздің ұзақ мерзімді серіктесіміз болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

VeTek жартылай өткізгішTaC жабын плитасыкеңінен қолданылатын арнайы материал болып табыладыжартылай өткізгішөндірістік процесс. Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділігімен, жоғары температураға төзімділігімен, коррозияға төзімділігімен, төмен үйкеліс коэффициентімен және жақсы жылу өткізгіштігімен біріктірілген TaC жабын пластина жартылай өткізгіштерді өңдеудің көптеген буындарында таптырмас рөл атқарады.

Жалпы, қолданбаларTaC қапталған тақталаржартылай өткізгіштерді өңдеуде келесідей:

CVD/ALD өсу субстраты: TaC жабыны бар пластиналардың жоғары температураға төзімділігі, химиялық тұрақтылығы және төмен үйкеліс коэффициенті оларды CVD/ALD өсіру субстраттарын тамаша етеді. Ол пленканың біркелкілігі мен тығыздығын қамтамасыз ету үшін тұрақты өсу ортасын қамтамасыз ете алады.

Офтинг маскасы тақтасы: TaC жабыны бар пластиналардың жоғары қаттылығы мен коррозияға төзімділігі олардың астындағы пленканы қорғайтын плазмалық ою сияқты жоғары энергетикалық процестерге төтеп беруге мүмкіндік береді.

CMP жылтырату тақтасы: TaC жабыны бар пластиналардың тозуға төзімділігі мен төмен үйкеліс коэффициенті оларды пленка бетіндегі бөлшектер мен ақауларды тиімді жоя алатын CMP жылтырату төсемдері үшін тамаша материал етеді.

Жоғары температуралы пеш түтігі: TaC жабыны бар пластиналардың жоғары температураға төзімділігі және коррозияға төзімділігі оларды жоғары температурада күйдіру, диффузия және басқа процестер үшін жоғары температуралы пештерде пеш түтіктері ретінде пайдалануға мүмкіндік береді.

Өнімнің сипаттамаларымен біріктірілгенTaC жабын плитасы, ол бұл өнімнің құрылғы жұмысын жақсартуда, жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартуда және өндіріс тиімділігін арттыруда таптырмас басты рөл атқаратынын анықтайды.

Кәсіби өндіруші ретіндеSiC epi акцепторындағы GaN, Кеуекті графитжәнеTaC жабын плитасыҚытайда VeTek Semiconductor әрқашан теңшелген өнім қызметтерін ұсынуды талап етеді және саланы үздік технологиялармен және өнім шешімдерімен қамтамасыз етуге ұмтылады. Біз сіздің қосымша кеңестеріңізді шын жүректен күтеміз.

CVD TAC ЖАБУ Техникалық параметрлері：