кремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышы

VeTek жартылай өткізгіш Кремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышыграфиттің тамаша электр және жылу өткізгіштігін жоғары температураға төзімділігімен, коррозияға төзімділігімен және кремний көміртекті керамикалық жабынның тозуға төзімділігімен үйлестіреді және қатал жартылай өткізгіштерді өндіру орталарына арналған. 

Кремний карбиді керамикалық жабындысы бар графит жылытқышынегізінен вакуумдық жабын (буландыру) жабдығында қолданылады және әдетте PCD (плазмалық химиялық кептіру) және PVD (физикалық будың тұндыру) әдістері қолданылады. Бұл өнім жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде технологиялық прогреске жәрдемдесу және өндіріс тиімділігін арттыруда маңызды рөл атқарды.Біз сізбен одан әрі ынтымақтастықты шын жүректен күтеміз.

Кремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышының материалдық және құрылымдық ерекшеліктері келесідей:

Графиттік субстрат: Графит өзінің жоғары жылу өткізгіштігімен және төмен жылу кеңею коэффициентімен танымал. Ол температураның өзгеруіне тез жауап бере алады және жоғары температурада құрылымдық тұрақтылықты сақтай алады.

Кремний көміртекті керамикалық жабын: SiC жабыны химиялық буларды тұндыру немесе басқа жетілдірілген процестер арқылы графит бетіне біркелкі жабылады. SiC өте жоғары қаттылыққа және химиялық коррозияға төзімділікке ие, ол графиттік негізді жоғары температурадағы тотығудан және коррозиялық ортадан қорғай алады.

Кремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышының арнайы өнімнің құрылымдық дизайны анықтайдыжартылай өткізгішті өңдеу процесінде осы өнімнің алмастырылмайтын өнім артықшылықтары:

Тиімді және біркелкі жылыту:

Жылу өткізгіштік: Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі қыздырғышқа қажетті температураға тез жетуге және оны ұстап тұруға мүмкіндік береді, ал SiC жабыны жылудың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Бұл әсіресе жылдам термиялық өңдеу (RTP) және химиялық буларды тұндыру (CVD) сияқты температураны дәл бақылауды қажет ететін жартылай өткізгіш процестер үшін өте маңызды.

Температураның біркелкілігі: Жылуды біркелкі бөлу арқылы кремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышы жылу кернеуін және температура градиентін тиімді төмендетеді, жартылай өткізгіш пластинкалардың барлық қыздыру процесінде консистенциясы мен сапасының тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

Коррозияға қарсы қорғаныс:

Химиялық төзімділік: SiC жабынының химиялық коррозияға төзімділігі қыздырғышқа коррозиялы газ және химиялық ортада тұрақты және ұзақ уақыт бойы жұмыс істеуге мүмкіндік береді, бұл графит субстратының зақымдалуын болдырмайды. Бұл мүмкіндік әсіресе химиялық бу тұндыру (CVD) және плазмадағы жақсартылған химиялық бу тұндыру (PECVD) сияқты процестерде өте маңызды.

Тотығуға төзімділік: Жоғары температурада SiC жабыны графиттік негіздің тотығуын болдырмайды, қыздырғыштың қызмет ету мерзімін ұзартады және жабдыққа қызмет көрсету жиілігі мен құнын азайтады.

Бөлшектердің ластануын азайтыңыз:

Беттік тұрақтылық: SiC жабыны тозуға төзімді ғана емес, сонымен қатар жылу циклі немесе химиялық реакциялар салдарынан бөлшектердің материал бетінен түсіп кетуіне жол бермейді, осылайша жартылай өткізгішті өндіру кезінде орын алуы мүмкін бөлшектердің ластану қаупін азайтады және жоғары тазалықтағы технологиялық ортаны қамтамасыз етеді.

Процестің сенімділігі мен тиімділігін арттыру:

Ұзақ өмір сүретін дизайн: Графиттің механикалық беріктігі мен SiC жабынының тозуға төзімділігінің үйлесімі арқасында кремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышы күрделі технологиялық жағдайларда ұзақ уақыт бойы жоғары тиімді жұмысты сақтай алады, бұл жабдықтың жалпы сенімділігін айтарлықтай арттырады.

Энергияны тиімді пайдалану: Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі және SiC жабынының жоғары температура тұрақтылығы қыздырғышқа температураны бақылау дәлдігін жақсарта отырып, энергия шығынын азайтуға мүмкіндік береді, осылайша жартылай өткізгіш өндірісінің жалпы тиімділігін арттырады.

Негізгі физикалық қасиеттеріКремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышы:

VeTek жартылай өткізгішКремний карбиді керамикалық жабын графит жылытқышыдүкендер:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу:

/басқа-процесс