кремний карбиді керамикалық жабын жылытқышы

VeTek жартылай өткізгішКремний карбиді керамикалық жабын жылытқышы жоғары температура мен қатал орталарға арналған жылытқыш болып табылады. Ол қыздыру элементінің бетіне кремний көміртекті керамикалық жабынның (SiC) қабатын жабады, бұл жабдыққа тамаша ыстыққа төзімділік, коррозияға төзімділік және жылу өткізгіштік береді. 

Кремний карбиді керамикалық жабын жылытқышынегізінен вакуумды жабу (буландыру) жабдықтарында қолданылады. Жиі қолданылатын әдістер PCD (плазмалық химиялық кептіру) және PVD (физикалық буларды тұндыру), олар жартылай өткізгіштерді өндіруде және басқа да жоғары сұранысқа ие өнеркәсіптік қолданбаларда кеңінен қолданылады.

Кремний карбидті керамикалық жабын жылытқышының жоғары өнімді жабын дизайнымен біріктірілген,ол жоғары температуралық процестер үшін тамаша қыздыру шешімін бере алады.

Тамаша жылу өткізгіштік: SiC материалының тамаша жылу өткізгіштік қасиеті бар, бұл қыздырғыштың жұмыс аймағында біркелкі жылудың таралуын қамтамасыз етеді және температура градиенттерін азайтады.

Жылудың біркелкі таралуын қамтамасыз етіңіз: Кремний карбидті керамикалық жабын жылытқышы бүкіл жылыту аймағында температураның біркелкі таралуына қол жеткізу үшін SiC материалының жоғары жылу өткізгіштігін пайдаланады. Бұл жылдам термиялық өңдеу (RTP), диффузия және тотығу сияқты әртүрлі жоғары температуралық процестерде жартылай өткізгіш пластиналарды біркелкі термиялық өңдеуді қамтамасыз ету, жергілікті қызып кетуден немесе біркелкі емес температурадан туындаған өнім ақауларын болдырмау үшін өте маңызды.

Жоғары температураға төзімділік: SiC жабыны қыздырғышқа өте жоғары температураға, әдетте 1600°C-қа дейін төтеп беруге мүмкіндік береді, әртүрлі жоғары температуралы өңдеу процестеріне жарамды.

Ыстыққа төзімділікті жақсарту: Қаптама өте жоғары температураға төтеп бере алатындықтан, ол ұзақ мерзімді жоғары температурада жұмыс істеуді қажет ететін процестерде жақсы жұмыс істейді. Мысалы, химиялық буларды тұндыру (CVD) процестерінде кремний-карбидті керамикалық жабын жылытқышы жабдықтың жоғары температурада ұзақ мерзімді тұрақты жұмысын қамтамасыз ете алады және тұрақты қыздыру өнімділігін сақтай алады, осылайша процестің қайталануы мен сенімділігін арттырады.

Химиялық коррозияға төзімділік: SiC жабыны қышқылға, сілтіге және коррозиялық газдарға өте жоғары тұрақтылыққа ие және күрделі химиялық атмосфера жағдайында ұзақ уақыт бойы тұрақты болып, жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартады. 

Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту: SiC жабыны тамаша тотығуға және коррозияға төзімділікке ие және жоғары температурада химиялық эрозияға және тотығуға тиімді қарсы тұра алады. Бұл жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде, әсіресе коррозиялық газдар мен химиялық заттармен жұмыс істейтін ортада өте маңызды. Қаптаманың қорғаныш әсері жылытқыштың қызмет ету мерзімін едәуір ұзарта алады және жабдықты ауыстыру және техникалық қызмет көрсету шығындарының жиілігін азайтады.

Кремний карбидті керамикалық жабынды қыздырғыштың негізгі физикалық қасиеттері:

VeTek жартылай өткізгіш кремний карбидті керамикалық жабын жылытқыш цехтары:

VeTek жартылай өткізгіш чиптерінің эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: