Кремний карбиді керамикалық жабын

Vetek жартылай өткізгіш Кремний карбиді керамикалық жабынөте қатты және тозуға төзімді кремний карбидінен (SiC) жасалған, химиялық коррозияға тамаша төзімділік пен жоғары температура тұрақтылығын қамтамасыз ететін жоғары өнімді қорғаныс жабыны болып табылады. Бұл қасиеттер жартылай өткізгішті өндіруде шешуші мәнге ие, сондықтан кремний карбиді керамикалық жабын жартылай өткізгіштерді өндіру жабдықтарының негізгі компоненттерінде кеңінен қолданылады.

Vetek жартылай өткізгіш Silicon Carbide Ceramic Coating компаниясының жартылай өткізгіш өндірісінде атқаратын рөлі ерекше.келесідей:

Жабдықтың беріктігін арттыру: Кремний карбиді керамикалық жабыны өте жоғары қаттылық пен тозуға төзімділігімен жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жабдықтың бетін тамаша қорғауды қамтамасыз етеді. Әсіресе химиялық бу тұндыру (CVD) және плазмалық өрнектеу сияқты жоғары температура, жоғары коррозиялық технологиялық орталарда кремний карбиді керамикалық жабын химиялық эрозия немесе физикалық тозу салдарынан жабдық бетінің зақымдалуын тиімді болдырмайды, осылайша жабдықтың қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады. жабдықты және жиі ауыстыру мен техникалық қызмет көрсетуден туындаған тоқтап қалу уақытын азайту.

Процесс тазалығын жақсарту: Жартылай өткізгішті өндіру процесінде кез келген кішкене ластану өнім ақауларын тудыруы мүмкін. Кремний карбидті керамикалық жабынның химиялық инерттілігі оның экстремалды жағдайларда тұрақты болуына, материалдың бөлшектерді немесе қоспаларды шығаруына жол бермеуге және процесс кезінде қоршаған ортаның тазалығын қамтамасыз етуге мүмкіндік береді. Бұл әсіресе PECVD және ион имплантациясы сияқты жоғары дәлдік пен жоғары тазалықты талап ететін өндіріс қадамдары үшін өте маңызды.

Жылулық басқаруды оңтайландыру: Жылдам термиялық өңдеу (RTP) және тотығу процестері сияқты жоғары температуралы жартылай өткізгішті өңдеуде кремний карбиді керамикалық жабынының жоғары жылу өткізгіштігі жабдық ішінде температураны біркелкі бөлуге мүмкіндік береді. Бұл температура ауытқуларынан туындаған термиялық кернеуді және материалдың деформациясын азайтуға көмектеседі, осылайша өнім өндіру дәлдігі мен дәйектілігін жақсартады.

Күрделі процесс ортасын қолдау: ICP өңдеу және PSS өңдеу процестері сияқты күрделі атмосфераны бақылауды қажет ететін процестерде кремний карбиді керамикалық жабын жылытқышының тұрақтылығы мен тотығуға төзімділігі жабдықтың ұзақ мерзімді жұмыс кезінде тұрақты жұмысын қамтамасыз етеді, материалдың немесе жабдықтың тозу қаупін азайтады. қоршаған ортаның өзгеруіне байланысты зиян.

Vetek жартылай өткізгішжоғары өнімділікті өндіруге және жеткізуге бағытталғанКремний карбиді керамикалық жабын, және жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға міндеттенеді.Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

Негізгі физикалық қасиеттеріКремний карбиді керамикалық жабын:

VeTek жартылай өткізгіш кремний карбиді керамикалық жабын цехтары:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: