Оқшаулағыш пластинадағы кремний

VeTek Semiconductor - бұл изолятордағы кремнийдің, ALD планеталық негізінің және TaC қапталған графит негізінің кәсіби қытай өндірушісі. VeTek Semiconductor кремнийі оқшаулағыш пластинасы маңызды жартылай өткізгіш субстрат материалы болып табылады және оның тамаша өнім сипаттамалары оны өнімділігі жоғары, төмен қуатты, жоғары интеграциялық және RF қолданбаларында шешуші рөл атқарады. Біз сізбен одан әрі ынтымақтастықты асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

жұмыс принципіVeTek жартылай өткізгішныңОқшаулағыштағы кремний Вафельнегізінен оның бірегей құрылымы мен материалдық қасиеттеріне сүйенеді. Және SOI вафлиүш қабаттан тұрады: жоғарғы қабат - бір кристалды кремний құрылғысының қабаты, ортасы - оқшаулағыш көмілген оксид (BOX) қабаты және төменгі қабат - тірек кремний субстраты.

Оқшаулағыш қабаттың қалыптасуы: Silicon On Insulator пластинасы әдетте Smart Cut™ технологиясы немесе SIMOX (имплантацияланған оттегі арқылы бөлу) технологиясы арқылы жасалады. Smart Cut™ технологиясы көпіршік қабатын қалыптастыру үшін сутегі иондарын кремний пластинасына енгізеді, содан кейін сутегі инъекцияланған пластинаны тірек кремний пластинасына байланыстырады. Термиялық өңдеуден кейін сутегі айдалған вафли SOI құрылымын қалыптастыру үшін көпіршікті қабаттан бөлінеді. SIMOX технологиясы жоғары температурада кремний оксиді қабатын қалыптастыру үшін жоғары энергиялы оттегі иондарын кремний пластинкаларына имплантациялайды.

Паразиттік сыйымдылықты азайтыңыз: BOX қабатыОқшаулағыш пластинадағы кремнийқұрылғы қабатын және негізгі кремнийді тиімді оқшаулайды, паразиттік сыйымдылықты айтарлықтай төмендетеді. Бұл оқшаулау қуат тұтынуды азайтады және құрылғының жылдамдығы мен өнімділігін арттырады.

Бекіту әсерлерінен аулақ болыңыз: n-ұңғыма және p-ұңғыма құрылғыларыSOI вафлидәстүрлі CMOS құрылымдарындағы ілмек әсерін болдырмай, толығымен оқшауланған. Бұл мүмкіндік бередіОқшаулағыштағы кремний Вафель жоғары жылдамдықпен өндіріледі.

Etch тоқтату функциясы: SOI пластинкасының монокристалды кремний құрылғысының қабаты және BOX қабатының құрылымы MEMS және оптоэлектронды құрылғыларды өндіруді жеңілдетеді, тамаша қиюды тоқтату функциясын қамтамасыз етеді.

Осы қасиеттер арқылы,Оқшаулағыш пластинадағы кремнийжартылай өткізгіштерді өңдеуде маңызды рөл атқарады және интегралдық схема (IC) және микроэлектромеханикалық жүйелер (MEMS) өнеркәсіптерінің үздіксіз дамуына ықпал етеді. Біз сізбен одан әрі байланыс пен ынтымақтастықты шын жүректен күтеміз.

Өнім параметрі：