Тантал карбидінің қаптамасы

VeTek Semiconductor негізгі қызметіТантал карбиді (TaC) жабынықолдауды жақсарту болып табыладыыстыққа төзімділік, тозуға төзімділік және коррозияға төзімділікпроцестің дәлдігі мен сенімділігін арттыру және құрамдас бөліктердің қызмет ету мерзімін ұзарту үшін тантал карбиді жабынының қабатын жабу арқылы субстраттың бетін тегістеңіз. Бұл жартылай өткізгіштерді өңдеу саласында қолданылатын жоғары өнімді жабын өнімі.

VeTek Semiconductor компаниясының тантал карбиді жабынының тірегі Mohs қаттылығы шамамен 9 ~ 10, гауһардан кейін екінші. Ол өте күшті тозуға төзімділікке ие және өңдеу кезінде беткі тозу мен әсерге тиімді қарсы тұра алады, осылайша жабдық құрамдастарының қызмет ету мерзімін тиімді ұзартады. Шамамен 3880°C жоғары балқу температурасымен бірге ол тозуға төзімділігін және жоғары температураны арттыру үшін жартылай өткізгішті жабдықтың негізгі компоненттерін жабу үшін жиі пайдаланылады, мысалы, тірек құрылымдарының беткі жабындары, термиялық өңдеу жабдығы, жартылай өткізгіш жабдықтардағы камералар немесе тығыздауыштар. қарсылық.

Тантал карбидінің өте жоғары балқу температурасына байланысты шамамен 3880°C, жартылай өткізгіштерді өңдеу процестерінде, мысалыхимиялық булардың тұндыру (CVD)жәнефизикалық бу тұндыру (PVD), Күшті жоғары температураға төзімділігі және химиялық коррозияға төзімділігі бар TaC жабыны жабдықтың құрамдас бөліктерін тиімді қорғай алады және төтенше ортада тот басуды немесе субстраттың зақымдануын болдырмайды, вафли өндірісінде жоғары температура орталары үшін тиімді қорғауды қамтамасыз етеді. Бұл мүмкіндік сонымен қатар VeTek Semiconductor компаниясының тантал карбиді жабынының тіреуіші ою және коррозиялық процестерде жиі қолданылатынын анықтайды.

Тантал карбиді жабыны қолдауы бөлшектердің ластануын азайту функциясына да ие. Вафлиді өңдеу кезінде бетінің тозуы әдетте бөлшектердің ластануын тудырады, бұл пластинаның өнім сапасына әсер етеді. TaC Coating өнімінің экстремалды сипаттамалары 9-10 Мохқа жақын қаттылық бұл тозуды тиімді түрде азайтады, осылайша бөлшектердің пайда болуын азайтады. TaC Coating-тің тамаша жылу өткізгіштігімен (шамамен 21 Вт/м·К) үйлескенде ол жоғары температура жағдайында жақсы жылу өткізгіштігін сақтай алады, осылайша вафли өндірісінің шығымдылығы мен дәйектілігін айтарлықтай жақсартады.

VeTek Semiconductor компаниясының негізгі TaC Coating өнімдері мыналарды қамтидыTaC жабу жылытқышы, CVD TaC жабатын тигель, TaC жабынының айналу сенсорыжәнеTaC жабынының қосалқы бөлігіжәне т.б. және теңшелген өнім қызметтерін қолдайды. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін тамаша өнімдер мен техникалық шешімдерді ұсынуға ұмтылады. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбиді (TaC) жабыны:

CVD TaC жабынының негізгі физикалық қасиеттері：