VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксиялық процесс кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.
Негізгі өнімдер болып табыладыТантал карбидімен қапталған дефектор сақинасы, TaC жабыны бар бұру сақинасы, TaC қапталған жарты ай бөліктері, тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискісі (Aixtron G10), TaC қапталған тигель; TaC қапталған сақиналар; TaC қапталған кеуекті графит; Тантал карбиді жабынының графитті сіңіргіші; TaC қапталған бағыттаушы сақина; TaC тантал карбидімен қапталған пластина; TaC қапталған вафельді қабылдағыш; TaC жабу сақинасы; TaC жабынының графит қақпағы; TaC қапталған кесект.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.
TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:
Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.
●Температураның тұрақтылығы
●Ультра жоғары тазалық
●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі
●Жылу қорына төзімділік
●Графитке күшті адгезия
●Конформды жабу
● Диаметрі 750 мм дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)
● Индуктивті қыздыру қабылдағыш
● Резистивті қыздыру элементі
● Жылу қалқаны
TaC жабынының физикалық қасиеттері | |
Тығыздығы | 14,3 (г/см³) |
Меншікті эмиссия | 0.3 |
Термиялық кеңею коэффициенті | 6.3 10-6/Қ |
Қаттылық (HK) | 2000 HK |
Қарсылық | 1×10-5Ом*см |
Термиялық тұрақтылық | <2500℃ |
Графит өлшемі өзгереді | -10~-20ум |
Қаптау қалыңдығы | ≥20um типтік мән (35um±10um) |
Элемент | Атомдық пайыз | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Орташа | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor - Қытайдағы CVD TaC Coating Crucible өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. CVD TaC жабыны тигель көміртегі тантал (TaC) жабынына негізделген. Тантал көміртекті жабыны оның ыстыққа төзімділігі мен коррозияға төзімділігін арттыру үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тигельдің бетіне біркелкі жабылады. Бұл жоғары температуралы экстремалды ортада арнайы қолданылатын материалдық құрал. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы CVD TaC қаптамасының вафли тасымалдаушысының кәсіпқой өндірушісі және зауыты ретінде VeTek Semiconductor CVD TaC қаптамасының вафли тасымалдаушысы - жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары температура мен коррозиялық орта үшін арнайы әзірленген пластинаны тасымалдау құралы. және CVD TaC Coating Wafer Carrier жоғары механикалық беріктікке, тамаша коррозияға төзімділікке және термиялық тұрақтылыққа ие, бұл жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қажетті кепілдік береді. Сіздің қосымша сұрауларыңыз қабылданады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы TaC жабу жылытқышының жетекші өндірушісі және инноваторы. Бұл өнімнің балқу температурасы өте жоғары (шамамен 3880°C). TaC жабу қыздырғышының жоғары балқу температурасы оның өте жоғары температурада жұмыс істеуіне мүмкіндік береді, әсіресе металлорганикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) процесінде галлий нитриді (GaN) эпитаксиалды қабаттарының өсуі кезінде. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіпқой TaC қапталған патрон өндірушісі және жеткізушісі ретінде VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабу патроны жартылай өткізгіш пештер үшін арнайы әзірленген. Жоғары температураға төзімділігімен, химиялық инерттілігімен және тамаша өнімділігімен Vetek Semiconductor компаниясының инновациялық технологиясы жоғары сапалы өндіріс стандарттарын қамтамасыз ету үшін жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібі үшін сенімді шешім ұсынады. Біздің өнімдер сізге озық технология мен жоғары сапалы өнім шешімдерін жеткізе алады деп сенеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіби TaC жабын түтігі өндірушісі және жеткізушісі ретінде VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабын түтігі кремний карбидінің монокристалдарының табысты өсуінің негізгі құрамдас бөлігі болып табылады. Жоғары температураға төзімділігімен, химиялық инерттілігімен және тамаша өнімділігімен ол тұрақты нәтижелермен жоғары сапалы кристалдардың алынуын қамтамасыз етеді. PVT әдісі SiC кристалының өсу процесін жақсарту және тамаша нәтижелерге қол жеткізу үшін біздің инновациялық шешімдерімізге сеніңіз. Бізді сұрауға қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші өндіруші, жаңашыл және CVD TAC Coating көшбасшысы. Көптеген жылдар бойы біз CVD TaC жабынының қақпағы, CVD TaC жабын сақинасы, CVD TaC жабын тасымалдаушысы және т.б. сияқты CVD TAC жабыны өнімдеріне назар аударып келеміз. VeTek Semiconductor реттелетін өнім қызметтері мен қанағаттанарлық өнім бағасын қолдайды және сізді одан әрі күтеді. кеңес беру.
Ары қарай оқуСұрау жіберу