VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксиялық процесс кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.
Негізгі өнімдер болып табыладыТантал карбидімен қапталған дефектор сақинасы, TaC жабыны бар бұру сақинасы, TaC қапталған жарты ай бөліктері, тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискісі (Aixtron G10), TaC қапталған тигель; TaC қапталған сақиналар; TaC қапталған кеуекті графит; Тантал карбиді жабынының графитті сіңіргіші; TaC қапталған бағыттаушы сақина; TaC тантал карбидімен қапталған пластина; TaC қапталған вафельді қабылдағыш; TaC жабу сақинасы; TaC жабынының графит қақпағы; TaC қапталған кесект.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.
TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:
Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.
●Температураның тұрақтылығы
●Ультра жоғары тазалық
●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі
●Жылу қорына төзімділік
●Графитке күшті адгезия
●Конформды жабу
● Диаметрі 750 мм дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)
● Индуктивті қыздыру қабылдағыш
● Резистивті қыздыру элементі
● Жылу қалқаны
TaC жабынының физикалық қасиеттері | |
Тығыздығы | 14,3 (г/см³) |
Меншікті эмиссия | 0.3 |
Термиялық кеңею коэффициенті | 6.3 10-6/Қ |
Қаттылық (HK) | 2000 HK |
Қарсылық | 1×10-5Ом*см |
Термиялық тұрақтылық | <2500℃ |
Графит өлшемі өзгереді | -10~-20ум |
Қаптау қалыңдығы | ≥20um типтік мән (35um±10um) |
Элемент | Атомдық пайыз | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Орташа | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Қытайдағы тантал карбидімен қапталған сақина өнімдерінің кәсіби жаңашылы және көшбасшысы ретінде VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді қапталған сақинасы тамаша жоғары температураға төзімділігімен, тозуға төзімділігімен және тамаша жылу өткізгіштігімен SiC кристалының өсуінде таптырмас рөл атқарады. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы кеуекті тантал карбиді өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. Кеуекті тантал карбиді әдетте оның кеуек өлшемі мен таралуын дәл бақылауды қамтамасыз ететін химиялық бу тұндыру (CVD) әдісімен өндіріледі және жоғары температуралы экстремалды орталарға арналған материалдық құрал болып табылады. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы Tantal Carbide Ring өнімдерін озық өндіруші және өндіруші ретінде VeTek Semiconductor Tantal Carbide Ring өте жоғары қаттылыққа, тозуға төзімділікке, жоғары температураға төзімділікке және химиялық тұрақтылыққа ие және жартылай өткізгіштерді өндіру саласында кеңінен қолданылады. Әсіресе CVD, PVD, ионды имплантациялау процесінде, ою-өрнек процесінде және пластинаны өңдеу мен тасымалдауда бұл жартылай өткізгішті өңдеу және өндіру үшін таптырмас өнім болып табылады. Сіздің қосымша кеңесіңізді күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіби тантал карбиді жабындысын қолдау өнімінің өндірушісі және зауыты ретінде VeTek жартылай өткізгішті тантал карбиді жабыны қолдауы әдетте құрылымдық компоненттердің немесе жартылай өткізгіш жабдықтағы тірек компоненттерінің бетін жабу үшін, әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріндегі негізгі жабдық компоненттерінің бетін қорғау үшін қолданылады. CVD және PVD. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы Tantalum Carbide Guide Ring өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. Біздің тантал карбиді (TaC) бағыттаушы сақинасы - бұл тантал карбидінен жасалған жоғары өнімді сақина құрамдас бөлігі, ол әдетте жартылай өткізгіштерді өңдеу жабдықтарында, әсіресе CVD, PVD, ою және диффузия сияқты жоғары температурада және жоғары коррозиялық орталарда қолданылады. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады және сіздің қосымша сұрауларыңызды құптайды.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы TaC Coating Rotation Susceptor өнімдерінің кәсіби өндірушісі, инноваторы және көшбасшысы ретінде. VeTek Semiconductor TaC жабынының айналу қабылдағышы әдетте материалдың біркелкі тұнбасын және тиімді реакциясын қамтамасыз ету үшін пластиналарды қолдау және айналдыру үшін химиялық бу тұндыру (CVD) және молекулалық сәулелік эпитаксис (MBE) жабдығына орнатылады. Ол жартылай өткізгіштерді өңдеудің негізгі компоненті болып табылады. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу