VeTek Semiconductor компаниясының бірегей карбидті жабындары талап етілетін жартылай өткізгіш және композиттік жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу үшін SiC эпитаксистік процесінде графит бөлшектерін жоғары қорғауды қамтамасыз етеді. Нәтиже графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады, реакцияның стехиометриясын сақтайды, эпитаксияға және кристалды өсіретін қолданбаларға қоспалардың көшуін тежейді, нәтижесінде кірістілік пен сапаның жоғарылауы қамтамасыз етіледі.
Біздің тантал карбиді (TaC) жабындары пеш пен реактордың маңызды компоненттерін жоғары температурада (2200 ° C дейін) ыстық аммиактан, сутегінен, кремний буларынан және балқытылған металдардан қорғайды. VeTek Semiconductor графитті өңдеу және өлшеу мүмкіндіктерінің кең ауқымы сіздің жеке талаптарыңызға сай келеді, сондықтан біз сізге және сіздің арнайы қолданбаңызға дұрыс шешімді әзірлеуге дайын сарапшы инженерлер тобымызбен ақылы жабын немесе толық қызмет көрсете аламыз. .
Құрама жартылай өткізгіш кристалдар
VeTek Semiconductor әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы TaC жабындарын қамтамасыз ете алады. VeTek Semiconductor өнеркәсібінің жетекші жабын процесі арқылы TaC жабыны жоғары тазалық, жоғары температура тұрақтылығы және жоғары химиялық төзімділік ала алады, осылайша кристалдық TaC/GaN) және EPl қабаттарының өнім сапасын жақсартады және реактордың маңызды компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жылу изоляторлары
SiC, GaN және AlN кристалдарының өсу компоненттері, соның ішінде тигельдер, тұқым ұстағыштар, дефлекторлар және сүзгілер. Өнеркәсіптік жинақтар, соның ішінде резистивті қыздыру элементтері, саптамалар, экрандау сақиналары және дәнекерлеу құрылғылары, GaN және SiC эпитаксиалды CVD реакторының құрамдас бөліктері, соның ішінде пластиналар, спутниктік науалар, душ бастиектері, қақпақтар мен тұғырлар, MOCVD компоненттері.
Жарық диодты (жарық шығаратын диод) пластинаны тасымалдаушы
ALD (жартылай өткізгіш) қабылдағыш
EPI рецепторы (SiC эпитаксистік процесс)
TaC қапталған спутниктік қабылдағыш TaC жабынының қабылдағыш және сақинасы TaC жабын бөліктері TaC жабыны бар жарты ай бөліктері
SiC | TaC | |
Негізгі мүмкіндіктер | Ультра жоғары тазалық, тамаша плазмалық төзімділік | Тамаша жоғары температура тұрақтылығы (жоғары температура процесінің сәйкестігі) |
Тазалық | >99,9999% | >99,9999% |
Тығыздық (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Қаттылық (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Меншікті кедергі [Ωсм] | 0,1-15 000 | <1 |
Жылу өткізгіштік (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Термиялық кеңею коэффициенті (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Қолдану | Жартылай өткізгішті жабдық Керамикалық айлабұйым (фокус сақинасы, душ бастиегі, вафли) | SiC Бір кристалды өсу, Epi, ультракүлгін жарықдиодты жабдық бөліктері |
VeTek Semiconductor - бұл Қытайдағы LPE өндірушісі және инноваторы үшін кең ауқымды тантал карбидімен қапталған жарты ай бөлігі. Біз көптеген жылдар бойы TaC жабынымен мамандандырылғанбыз. Біздің өнімдеріміз 2000 градус Цельсийден жоғары температураға төтеп бере алады, шығын материалдарының қызмет ету мерзімін ұзартады. Біз асыға күтеміз. Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болу.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor – Қытайдағы тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискінің жетекші өндірушісі және инноваторы. Біз көптеген жылдар бойы керамикалық жабынға мамандандық. Біздің өнімдеріміз жоғары тазалық пен жоғары температураға төзімділікке ие. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз. Қытай.
Ары қарай оқуСұрау жіберу