VeTek Semiconductor компаниясының бірегей карбидті жабындары талап етілетін жартылай өткізгіш және композиттік жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу үшін SiC эпитаксистік процесінде графит бөлшектерін жоғары қорғауды қамтамасыз етеді. Нәтиже графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады, реакцияның стехиометриясын сақтайды, эпитаксияға және кристалды өсіретін қолданбаларға қоспалардың көшуін тежейді, нәтижесінде кірістілік пен сапаның жоғарылауы қамтамасыз етіледі.
Біздің тантал карбиді (TaC) жабындары пеш пен реактордың маңызды компоненттерін жоғары температурада (2200 ° C дейін) ыстық аммиактан, сутегінен, кремний буларынан және балқытылған металдардан қорғайды. VeTek Semiconductor графитті өңдеу және өлшеу мүмкіндіктерінің кең ауқымы сіздің жеке талаптарыңызға сай келеді, сондықтан біз сізге және сіздің арнайы қолданбаңызға дұрыс шешімді әзірлеуге дайын сарапшы инженерлер тобымызбен ақылы жабын немесе толық қызмет көрсете аламыз. .
Құрама жартылай өткізгіш кристалдар
VeTek Semiconductor әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы TaC жабындарын қамтамасыз ете алады. VeTek Semiconductor өнеркәсібінің жетекші жабын процесі арқылы TaC жабыны жоғары тазалық, жоғары температура тұрақтылығы және жоғары химиялық төзімділік ала алады, осылайша кристалдық TaC/GaN) және EPl қабаттарының өнім сапасын жақсартады және реактордың маңызды компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жылу изоляторлары
SiC, GaN және AlN кристалдарының өсу компоненттері, соның ішінде тигельдер, тұқым ұстағыштар, дефлекторлар және сүзгілер. Өнеркәсіптік жинақтар, соның ішінде резистивті қыздыру элементтері, саптамалар, экрандау сақиналары және дәнекерлеу құрылғылары, GaN және SiC эпитаксиалды CVD реакторының құрамдас бөліктері, соның ішінде пластиналар, спутниктік науалар, душ бастиектері, қақпақтар мен тұғырлар, MOCVD компоненттері.
Жарық диодты (жарық шығаратын диод) пластинаны тасымалдаушы
ALD (жартылай өткізгіш) қабылдағыш
EPI рецепторы (SiC эпитаксистік процесс)
TaC қапталған спутниктік қабылдағыш TaC жабынының қабылдағыш және сақинасы TaC жабын бөліктері TaC жабыны бар жарты ай бөліктері
SiC | TaC | |
Негізгі мүмкіндіктер | Ультра жоғары тазалық, тамаша плазмалық төзімділік | Тамаша жоғары температура тұрақтылығы (жоғары температура процесінің сәйкестігі) |
Тазалық | >99,9999% | >99,9999% |
Тығыздық (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Қаттылық (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Меншікті кедергі [Ωсм] | 0,1-15 000 | <1 |
Жылу өткізгіштік (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Термиялық кеңею коэффициенті (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Қолдану | Жартылай өткізгішті жабдық Керамикалық айлабұйым (фокус сақинасы, душ бастиегі, вафли) | SiC Бір кристалды өсу, Epi, ультракүлгін жарықдиодты жабдық бөліктері |
VeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші TaC қапталған үш жапырақты сақина өндірушісі және инноваторы. Біз көптеген жылдар бойы TaC және SiC жабыны бойынша мамандандық. Біздің өнімдеріміз коррозияға төзімді, жоғары беріктікке ие. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші тантал карбидімен қапталған патрон өндірушісі және инноваторы. Біз көптеген жылдар бойы TaC жабынымен мамандандырылған. Біздің өнімдеріміз 2000 ℃ дейін жоғары тазалық пен жоғары температураға төзімділікке ие. Біз сіздің ұзақ мерзімді жұмысыңыз болуды асыға күтеміз. Қытайдағы серіктес.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor Қытайдағы жетекші тантал карбиді қапталған қақпақ өндірушісі және инноваторы болып табылады. Біз көптеген жылдар бойы TaC және SiC жабыны бойынша мамандандық. Біздің өнімдеріміз коррозияға төзімді, жоғары беріктікке ие. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы тантал карбиді қаптамасының жетекші өндірушісі және инноваторы. Біз жоғары тазалықтағы, жоғары температураға төзімді тантал карбиді өнімдерін қамтамасыз етуге назар аударамыз. Біздің тантал карбидімен қапталған жабынымыз тамаша өнімділік пен сенімділікке ие және материалдарды өте жоғары температура мен коррозиялық ортада тиімді қорғай алады. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC қапталған дефлектор сақинасы SiC кристалының өсу процестеріне арналған жоғары мамандандырылған компонент болып табылады. TaC жабыны кристалдардың өсу процесі кезінде жоғары температура мен коррозиялық орталарға төтеп беру үшін тамаша жоғары температураға төзімділік пен химиялық инерттілікті қамтамасыз етеді. Бұл құрамдас бөліктің тұрақты өнімділігі мен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді, ауыстыру жиілігін және тоқтау уақытын азайтады. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - бұл Қытайдағы SiC эпитаксиалды реакторының өндірушісі және инноваторы үшін кең ауқымды TaC қапталған сақина. Біз көптеген жылдар бойы TaC жабынымен мамандандырылғанбыз. Біздің өнімдеріміз жоғары тазалық, жоғары тұрақтылық, тамаша коррозияға төзімділік, жоғары байланыс күші бар. Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болу үшін алға.
Ары қарай оқуСұрау жіберу