VeTek Semiconductor компаниясының бірегей карбидті жабындары талап етілетін жартылай өткізгіш және композиттік жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу үшін SiC эпитаксистік процесінде графит бөлшектерін жоғары қорғауды қамтамасыз етеді. Нәтиже графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады, реакцияның стехиометриясын сақтайды, эпитаксияға және кристалды өсіретін қолданбаларға қоспалардың көшуін тежейді, нәтижесінде кірістілік пен сапаның жоғарылауы қамтамасыз етіледі.
Біздің тантал карбиді (TaC) жабындары пеш пен реактордың маңызды компоненттерін жоғары температурада (2200 ° C дейін) ыстық аммиактан, сутегінен, кремний буларынан және балқытылған металдардан қорғайды. VeTek Semiconductor графитті өңдеу және өлшеу мүмкіндіктерінің кең ауқымы сіздің жеке талаптарыңызға сай келеді, сондықтан біз сізге және сіздің арнайы қолданбаңызға дұрыс шешімді әзірлеуге дайын сарапшы инженерлер тобымызбен ақылы жабын немесе толық қызмет көрсете аламыз. .
Құрама жартылай өткізгіш кристалдар
VeTek Semiconductor әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы TaC жабындарын қамтамасыз ете алады. VeTek Semiconductor өнеркәсібінің жетекші жабын процесі арқылы TaC жабыны жоғары тазалық, жоғары температура тұрақтылығы және жоғары химиялық төзімділік ала алады, осылайша кристалдық TaC/GaN) және EPl қабаттарының өнім сапасын жақсартады және реактордың маңызды компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жылу изоляторлары
SiC, GaN және AlN кристалдарының өсу компоненттері, соның ішінде тигельдер, тұқым ұстағыштар, дефлекторлар және сүзгілер. Өнеркәсіптік жинақтар, соның ішінде резистивті қыздыру элементтері, саптамалар, экрандау сақиналары және дәнекерлеу құрылғылары, GaN және SiC эпитаксиалды CVD реакторының құрамдас бөліктері, соның ішінде пластиналар, спутниктік науалар, душ бастиектері, қақпақтар мен тұғырлар, MOCVD компоненттері.
Жарық диодты (жарық шығаратын диод) пластинаны тасымалдаушы
ALD (жартылай өткізгіш) қабылдағыш
EPI рецепторы (SiC эпитаксистік процесс)
TaC қапталған спутниктік қабылдағыш TaC жабынының қабылдағыш және сақинасы TaC жабын бөліктері TaC жабыны бар жарты ай бөліктері
SiC | TaC | |
Негізгі мүмкіндіктер | Ультра жоғары тазалық, тамаша плазмалық төзімділік | Тамаша жоғары температура тұрақтылығы (жоғары температура процесінің сәйкестігі) |
Тазалық | >99,9999% | >99,9999% |
Тығыздық (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Қаттылық (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Меншікті кедергі [Ωсм] | 0,1-15 000 | <1 |
Жылу өткізгіштік (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Термиялық кеңею коэффициенті (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Қолдану | Жартылай өткізгішті жабдық Керамикалық айлабұйым (фокус сақинасы, душ бастиегі, вафли) | SiC Бір кристалды өсу, Epi, ультракүлгін жарықдиодты жабдық бөліктері |
VeTek Semiconductor - Қытайдағы TaC жабу жылытқышының жетекші өндірушісі және инноваторы. Бұл өнімнің балқу температурасы өте жоғары (шамамен 3880°C). TaC жабу қыздырғышының жоғары балқу температурасы оның өте жоғары температурада жұмыс істеуіне мүмкіндік береді, әсіресе металлорганикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) процесінде галлий нитриді (GaN) эпитаксиалды қабаттарының өсуі кезінде. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіпқой TaC қапталған патрон өндірушісі және жеткізушісі ретінде VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабу патроны жартылай өткізгіш пештер үшін арнайы әзірленген. Жоғары температураға төзімділігімен, химиялық инерттілігімен және тамаша өнімділігімен Vetek Semiconductor компаниясының инновациялық технологиясы жоғары сапалы өндіріс стандарттарын қамтамасыз ету үшін жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібі үшін сенімді шешім ұсынады. Біздің өнімдер сізге озық технология мен жоғары сапалы өнім шешімдерін жеткізе алады деп сенеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҚытайдағы кәсіби TaC жабын түтігі өндірушісі және жеткізушісі ретінде VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабын түтігі кремний карбидінің монокристалдарының табысты өсуінің негізгі құрамдас бөлігі болып табылады. Жоғары температураға төзімділігімен, химиялық инерттілігімен және тамаша өнімділігімен ол тұрақты нәтижелермен жоғары сапалы кристалдардың алынуын қамтамасыз етеді. PVT әдісі SiC кристалының өсу процесін жақсарту және тамаша нәтижелерге қол жеткізу үшін біздің инновациялық шешімдерімізге сеніңіз. Бізді сұрауға қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы жетекші өндіруші, жаңашыл және CVD TAC Coating көшбасшысы. Көптеген жылдар бойы біз CVD TaC жабынының қақпағы, CVD TaC жабын сақинасы, CVD TaC жабын тасымалдаушысы және т.б. сияқты CVD TAC жабыны өнімдеріне назар аударып келеміз. VeTek Semiconductor реттелетін өнім қызметтері мен қанағаттанарлық өнім бағасын қолдайды және сізді одан әрі күтеді. кеңес беру.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы TaC Coating Plate және басқа TaC Coating қосалқы бөлшектерінің кәсіби өндірушісі. Қазіргі уақытта TaC жабыны негізінен кремний карбидінің монокристалының өсуі (PVT әдісі), эпитаксиалды диск (соның ішінде кремний карбиді эпитаксисі, жарықдиодты эпитаксиясы) сияқты процестерде қолданылады. Coating Plate TaC Coating қосалқы бөлшектерінің эталоны болды. Сізді біздің ұзақ мерзімді серіктесіміз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы SiC epi сенсорындағы GaN, CVD SiC жабыны және CVD TAC COATING графит сенсорының кәсіби өндірушісі. Олардың ішінде SiC epi сенсорындағы GaN жартылай өткізгішті өңдеуде маңызды рөл атқарады. Өзінің тамаша жылу өткізгіштігі, жоғары температурада өңдеу қабілеті және химиялық тұрақтылығы арқылы ол GaN эпитаксиалды өсу процесінің жоғары тиімділігі мен материал сапасын қамтамасыз етеді. Біз сіздің келесі кеңестеріңізді шын жүректен күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу