VeTek Semiconductor компаниясының бірегей карбидті жабындары талап етілетін жартылай өткізгіш және композиттік жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу үшін SiC эпитаксистік процесінде графит бөлшектерін жоғары қорғауды қамтамасыз етеді. Нәтиже графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады, реакцияның стехиометриясын сақтайды, эпитаксияға және кристалды өсіретін қолданбаларға қоспалардың көшуін тежейді, нәтижесінде кірістілік пен сапаның жоғарылауы қамтамасыз етіледі.
Біздің тантал карбиді (TaC) жабындары пеш пен реактордың маңызды компоненттерін жоғары температурада (2200 ° C дейін) ыстық аммиактан, сутегінен, кремний буларынан және балқытылған металдардан қорғайды. VeTek Semiconductor графитті өңдеу және өлшеу мүмкіндіктерінің кең ауқымы сіздің жеке талаптарыңызға сай келеді, сондықтан біз сізге және сіздің арнайы қолданбаңызға дұрыс шешімді әзірлеуге дайын сарапшы инженерлер тобымызбен ақылы жабын немесе толық қызмет көрсете аламыз. .
Құрама жартылай өткізгіш кристалдар
VeTek Semiconductor әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы TaC жабындарын қамтамасыз ете алады. VeTek Semiconductor өнеркәсібінің жетекші жабын процесі арқылы TaC жабыны жоғары тазалық, жоғары температура тұрақтылығы және жоғары химиялық төзімділік ала алады, осылайша кристалдық TaC/GaN) және EPl қабаттарының өнім сапасын жақсартады және реактордың маңызды компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жылу изоляторлары
SiC, GaN және AlN кристалдарының өсу компоненттері, соның ішінде тигельдер, тұқым ұстағыштар, дефлекторлар және сүзгілер. Өнеркәсіптік жинақтар, соның ішінде резистивті қыздыру элементтері, саптамалар, экрандау сақиналары және дәнекерлеу құрылғылары, GaN және SiC эпитаксиалды CVD реакторының құрамдас бөліктері, соның ішінде пластиналар, спутниктік науалар, душ бастиектері, қақпақтар мен тұғырлар, MOCVD компоненттері.
Жарық диодты (жарық шығаратын диод) пластинаны тасымалдаушы
ALD (жартылай өткізгіш) қабылдағыш
EPI рецепторы (SiC эпитаксистік процесс)
TaC қапталған спутниктік қабылдағыш TaC жабынының қабылдағыш және сақинасы TaC жабын бөліктері TaC жабыны бар жарты ай бөліктері
SiC | TaC | |
Негізгі мүмкіндіктер | Ультра жоғары тазалық, тамаша плазмалық төзімділік | Тамаша жоғары температура тұрақтылығы (жоғары температура процесінің сәйкестігі) |
Тазалық | >99,9999% | >99,9999% |
Тығыздық (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Қаттылық (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Меншікті кедергі [Ωсм] | 0,1-15 000 | <1 |
Жылу өткізгіштік (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Термиялық кеңею коэффициенті (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Қолдану | Жартылай өткізгішті жабдық Керамикалық айлабұйым (фокус сақинасы, душ бастиегі, вафли) | SiC Бір кристалды өсу, Epi, ультракүлгін жарықдиодты жабдық бөліктері |
VeTek Semiconductor - Қытайдағы SiC epi сенсорындағы GaN, CVD SiC жабыны және CVD TAC COATING графит сенсорының кәсіби өндірушісі. Олардың ішінде SiC epi сенсорындағы GaN жартылай өткізгішті өңдеуде маңызды рөл атқарады. Өзінің тамаша жылу өткізгіштігі, жоғары температурада өңдеу қабілеті және химиялық тұрақтылығы арқылы ол GaN эпитаксиалды өсу процесінің жоғары тиімділігі мен материал сапасын қамтамасыз етеді. Біз сіздің келесі кеңестеріңізді шын жүректен күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының CVD TaC жабын тасымалдағышы негізінен жартылай өткізгіштерді өндірудің эпитаксиалды процесіне арналған. CVD TaC қаптамасының ультра жоғары балқу температурасы, тамаша коррозияға төзімділігі және тамаша термиялық тұрақтылығы жартылай өткізгіш эпитаксиалды процесте бұл өнімнің маңыздылығын анықтайды. Біз сізбен ұзақ мерзімді іскерлік қарым-қатынас орнатуға шын жүректен үміттенеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының бағыттаушы сақинасы химиялық буларды тұндыру (CVD) деп аталатын жоғары жетілдірілген әдісті қолдана отырып, графит бөліктеріне тантал карбиді жабынын қолдану арқылы жасалған. Бұл әдіс жақсы бекітілген және ерекше жабын қасиеттерін ұсынады. TaC жабынының бағыттаушы сақинасын пайдалану арқылы графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін едәуір ұзартуға, графит қоспаларының қозғалысын тоқтатуға және SiC және AIN монокристалының сапасын сенімді түрде сақтауға болады. Бізді сұрауға қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC қапталған графит қабылдағышы графит бөліктерінің бетіне тантал карбиді жабынын дайындау үшін химиялық бу тұндыру (CVD) әдісін пайдаланады. Бұл процесс ең жетілген және ең жақсы жабу қасиеттеріне ие. TaC қапталған графит сусцепторы графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарта алады, графит қоспаларының миграциясын тежейді және эпитаксия сапасын қамтамасыз етеді. VeTek Semiconductor сіздің сұрауыңызды асыға күтеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor TaC жабу қабылдағышын ұсынады. Ерекше TaC жабыны бар бұл қабылдағыш оны кәдімгі шешімдерден ерекшелендіретін көптеген артықшылықтарды ұсынады. Қолданыстағы жүйелерге үздіксіз интеграцияланған VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабу қабылдағыштары үйлесімділік пен тиімді жұмыс істеуге кепілдік береді. Оның сенімді өнімділігі мен жоғары сапалы TaC жабыны SiC эпитаксистік процестерінде дәйекті түрде ерекше нәтиже береді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының айналмалы тақтасы тамаша TaC жабынымен мақтана алады, TaC жабынының айналмалы пластинасының ерекше TaC жабыны бар, оны дәстүрлі шешімдерден ерекшелендіретін керемет жоғары температураға төзімділігі және химиялық инерттілігі бар. Біз бәсекеге қабілетті сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз. бағалар мен Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу