VeTek Semiconductor компаниясының бірегей карбидті жабындары талап етілетін жартылай өткізгіш және композиттік жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу үшін SiC эпитаксистік процесінде графит бөлшектерін жоғары қорғауды қамтамасыз етеді. Нәтиже графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады, реакцияның стехиометриясын сақтайды, эпитаксияға және кристалды өсіретін қолданбаларға қоспалардың көшуін тежейді, нәтижесінде кірістілік пен сапаның жоғарылауы қамтамасыз етіледі.
Біздің тантал карбиді (TaC) жабындары пеш пен реактордың маңызды компоненттерін жоғары температурада (2200 ° C дейін) ыстық аммиактан, сутегінен, кремний буларынан және балқытылған металдардан қорғайды. VeTek Semiconductor графитті өңдеу және өлшеу мүмкіндіктерінің кең ауқымы сіздің жеке талаптарыңызға сай келеді, сондықтан біз сізге және сіздің арнайы қолданбаңызға дұрыс шешімді әзірлеуге дайын сарапшы инженерлер тобымызбен ақылы жабын немесе толық қызмет көрсете аламыз. .
Құрама жартылай өткізгіш кристалдар
VeTek Semiconductor әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы TaC жабындарын қамтамасыз ете алады. VeTek Semiconductor өнеркәсібінің жетекші жабын процесі арқылы TaC жабыны жоғары тазалық, жоғары температура тұрақтылығы және жоғары химиялық төзімділік ала алады, осылайша кристалдық TaC/GaN) және EPl қабаттарының өнім сапасын жақсартады және реактордың маңызды компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жылу изоляторлары
SiC, GaN және AlN кристалдарының өсу компоненттері, соның ішінде тигельдер, тұқым ұстағыштар, дефлекторлар және сүзгілер. Өнеркәсіптік жинақтар, соның ішінде резистивті қыздыру элементтері, саптамалар, экрандау сақиналары және дәнекерлеу құрылғылары, GaN және SiC эпитаксиалды CVD реакторының құрамдас бөліктері, соның ішінде пластиналар, спутниктік науалар, душ бастиектері, қақпақтар мен тұғырлар, MOCVD компоненттері.
Жарық диодты (жарық шығаратын диод) пластинаны тасымалдаушы
ALD (жартылай өткізгіш) қабылдағыш
EPI рецепторы (SiC эпитаксистік процесс)
TaC қапталған спутниктік қабылдағыш TaC жабынының қабылдағыш және сақинасы TaC жабын бөліктері TaC жабыны бар жарты ай бөліктері
SiC | TaC | |
Негізгі мүмкіндіктер | Ультра жоғары тазалық, тамаша плазмалық төзімділік | Тамаша жоғары температура тұрақтылығы (жоғары температура процесінің сәйкестігі) |
Тазалық | >99,9999% | >99,9999% |
Тығыздық (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Қаттылық (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Меншікті кедергі [Ωсм] | 0,1-15 000 | <1 |
Жылу өткізгіштік (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Термиялық кеңею коэффициенті (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Қолдану | Жартылай өткізгішті жабдық Керамикалық айлабұйым (фокус сақинасы, душ бастиегі, вафли) | SiC Бір кристалды өсу, Epi, ультракүлгін жарықдиодты жабдық бөліктері |
VeTek Semiconductor компаниясының TaC жабын тақтасы - ерекше мүмкіндіктер мен артықшылықтарды ұсынатын тамаша өнім. Дәлдікпен жасалған және кемелділікке дейін жасалған, біздің TaC жабын пластина кремний карбидінің (SiC) монокристалды өсу процестерінде әртүрлі қолданбалар үшін арнайы әзірленген. TaC жабын пластинасының дәл өлшемдері мен берік конструкциясы бар жүйелерге біріктіруді жеңілдетеді және үздіксіз үйлесімділікті қамтамасыз етеді. және тиімді жұмыс. Оның сенімді өнімділігі мен жоғары сапалы жабыны SiC кристалын өсіру қолданбаларында дәйекті және біркелкі нәтижелерге ықпал етеді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor ұсынатын CVD TaC жабынының қақпағы - арнайы талап етілетін қолданбаларға арналған жоғары мамандандырылған компонент. Жетілдірілген мүмкіндіктерімен және ерекше өнімділігімен біздің CVD TaC жабын жабыны бірнеше негізгі артықшылықтарды ұсынады. Біздің CVD TaC жабын жабыны табысқа жету үшін қажетті қорғаныс пен өнімділікті қамтамасыз етеді. Біз сізбен әлеуетті ынтымақтастықты зерттеуді асыға күтеміз!
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor'TaC жабынының планеталық сіңіргіші Aixtron эпитаксистік жабдығына арналған ерекше өнім болып табылады. Берік TaC жабыны тамаша жоғары температураға төзімділік пен химиялық инерттілікті қамтамасыз етеді. Бұл бірегей комбинация, тіпті талап етілетін орталарда сенімді өнімділік пен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді. VeTek жоғары сапалы өнімдерді ұсынуға және бәсекеге қабілетті бағамен Қытай нарығында ұзақ мерзімді серіктес ретінде қызмет етуге ұмтылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабынының тұғырды тіреу тақтасы – жартылай өткізгіш эпитаксистік процестердің арнайы талаптарын қанағаттандыруға арналған жоғары дәлдіктегі өнім. TaC жабыны, жоғары температураға төзімділігі және химиялық инерттілігі арқасында біздің өнім сізге жоғары сапалы жоғары сапалы EPI қабаттарын шығаруға мүмкіндік береді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының TaC жабу патронында жоғары температураға төзімділігімен және химиялық инерттілігімен, әсіресе кремний карбиді (SiC) эпитаксисі (EPI) процестерінде белгілі жоғары сапалы TaC жабыны бар. Ерекше мүмкіндіктерімен және жоғары өнімділігімен, біздің TaC жабатын патрон бірнеше негізгі артықшылықтарды ұсынады. Біз бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor ұсынған LPE SiC Epi Halfmoon, LPE реакторының SiC эпитаксия процестерін көтеруге арналған революциялық өнім. Бұл озық шешімде өндірістік операцияларыңызда жоғары өнімділік пен тиімділікті қамтамасыз ететін бірнеше негізгі мүмкіндіктер бар. Сізбен ұзақ мерзімді ынтымақтастық орнатуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу